[发明专利]制造光纤用玻璃母材的制造方法、及制造光纤用玻璃母材的装置

说明书

本发明提供一种制造光纤用玻璃母材的制造方法，具备：第1工序，一边使收容有光纤用多孔质母材的石英炉芯管内流通至少包含卤素或氩的气体，一边对光纤用多孔质母材进行脱水；第2工序，在第1工序之后，使石英炉芯管内流通主成分为氦的气体而将石英炉芯管内至少局部地换气；以及第3工序，在第2工序之后，一边使石英炉芯管内流通主成分为氦的气体，一边使光纤用多孔质母材透明玻璃化。

技术领域

本发明涉及一种制造光纤用玻璃母材的制造方法、及制造光纤用玻璃母材的装置。

背景技术

专利文献1中记载有，“光纤母材的制造方法具有：脱水工序，……对炉芯管11、11A内供给含有惰性气体的脱水剂而对多孔质玻璃母材1、1A(多孔质灰粒体)进行脱水处理；及烧结工序，将经脱水处理后的多孔质玻璃母材1、1A烧结”(段落0022)，“作为与脱水剂混合的惰性气体，使用氩气，在脱水工序中使多孔质玻璃母材1、1A升温之前，使具有比氩气高的热导率的气体(以下，将其简称为“高热导率气体”)残留在多孔质玻璃母材1、1A内”(段落0024)。

[先行技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第5298186号公报

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式中所使用的烧结装置的概略情况的图。

图2是表示本发明的第2实施方式中所使用的烧结装置的概略情况的图。

具体实施方式

以下，通过发明的实施方式对本发明进行说明，以下的实施方式并不限定权利要求书所述的发明。另外，实施方式中所说明的特征的组合未必全部为发明的解决手段所必需的。

图1是表示本发明中的第1实施方式中所使用的烧结装置的概略情况的图，(A)表示第1工序的一例的情况，一边从上部向下方移动一边进行脱水。(B)表示接在(A)工序之后的第2工序的一例的情况，进行内部气体的换气。此外，与开始第2工序同时地使光纤用多孔质母材(以下，有时简称为多孔质母材)02上升到在开始第3工序时需要的位置。(C)表示接在(B)工序之后的第3工序的一例的情况，一边使多孔质母材02向下方移动一边进行透明玻璃化。

第1实施方式的烧结装置是制造光纤母材的装置，具备石英炉芯管04及加热装置10。石英炉芯管04具有能够收容多孔质母材02的容积V1。加热装置10配置在石英炉芯管04周围。

烧结装置也可以还具备移动机构，该移动机构使从石英炉芯管04的一端的开口部插入的多孔质母材02沿着石英炉芯管04的长度方向移动。多孔质母材02利用连接于移动机构的轴03，从石英炉芯管04上部的开口部沿着石英炉芯管04的长度方向插入。

烧结装置通过执行第1工序，一边使收容有多孔质母材02的石英炉芯管04内流通至少包含卤素或氩的气体，一边利用加热装置10对多孔质母材02进行脱水。第1工序也可以一边在石英炉芯管04内使多孔质母材02沿着多孔质母材02的延伸方向移动，一边对多孔质母材02进行脱水。第1工序还可以通过使石英炉芯管04的内部升温为1000℃～1300℃，对多孔质母材02进行脱水。

作为具体的一例，第1工序是在将多孔质母材02插入到石英炉芯管04内之后，关闭石英炉芯管04的上部的开口部之后开始。烧结装置与开始第1工序同时地，将纯卤素气体、或稀有气体与卤素气体混合而成的混合气体从气体导入端口01向石英炉芯管04内流入。烧结装置还为了将石英炉芯管04内的压力保持为固定，而从气体排出端口05排出固定量的气体。烧结装置从第1工序到第3工序，为了将石英炉芯管04内的压力保持为固定，而从气体排出端口05持续排出固定量的气体。

烧结装置还与开始第1工序同时地，利用加热装置10开始升温，进行石英炉芯管04的加热。此时，石英炉芯管04内部的温度设为1100℃～1300℃在对多孔质母材02进行脱水的方面较为优选。在第1工序中，利用所述移动机构，使多孔质母材02从石英炉芯管04的上部向下方移动。