[发明专利]制造光纤用玻璃母材的制造方法、及制造光纤用玻璃母材的装置

权利要求书

1.一种制造光纤用玻璃母材的制造方法，具备：

第1工序，一边使收容有光纤用多孔质母材的石英炉芯管内流通至少包含卤素或氩的气体，一边对所述光纤用多孔质母材进行脱水；

第2工序，在所述第1工序之后，使所述石英炉芯管内流通主成分为氦的气体而将所述石英炉芯管内至少局部地换气；以及

第3工序，在所述第2工序之后，一边使所述石英炉芯管内流通主成分为氦的气体，一边使所述光纤用多孔质母材透明玻璃化。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中

在所述第2工序中，流通到所述石英炉芯管内的主成分为氦的气体的累计流量V2相对于所述石英炉芯管的容积V1满足下述[数1]式，

[数1]

V2≧0.5×V1。

3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中

所述第2工序中的所述气体为纯氦气。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其中

所述第1工序中的所述至少包含卤素或氩的气体是主成分为卤素的气体或稀有气体与卤素气体的混合气体。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其中

所述主成分为卤素的气体是包含氯及氟的至少一者作为主成分的气体，所述稀有气体与卤素气体的混合气体是包含氯气及氟气的至少一者与氦气及氩气的至少一者的混合气体。

6.根据权利要求4或5所述的制造方法，其中

在所述第1工序中，流通到所述石英炉芯管内的气体的所有流量中稀有气体的流量U1及卤素的流量U2满足下述[数2]式，

[数2]

0.2≦U2/(U1+U2)≦1.0。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造方法，其中

所述第1工序一边在所述石英炉芯管内使所述光纤用多孔质母材沿着所述光纤用多孔质母材的延伸方向移动，一边对所述光纤用多孔质母材进行脱水。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的制造方法，其中

所述第3工序通过一边在所述石英炉芯管内使所述光纤用多孔质母材沿着所述光纤用多孔质母材的延伸方向朝向下方移动一边进行加热，使所述光纤用多孔质母材从下方的末端依次透明玻璃化。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其中

所述第3工序是在所述石英炉芯管内部的温度达到1400～1650℃之后，使所述光纤用多孔质母材沿着所述延伸方向开始朝向下方移动。

10.根据权利要求8或9所述的制造方法，其中

所述第1工序一边在所述石英炉芯管内使所述光纤用多孔质母材沿着所述延伸方向朝向下方移动，一边对所述光纤用多孔质母材进行脱水，

所述第2工序一边使在所述第1工序中移动到下方的所述光纤用多孔质母材上升一边将所述石英炉芯管内至少局部地换气，以能够通过在后续的所述第3工序中使所述光纤用多孔质母材沿着所述延伸方向开始朝向下方移动来将所述光纤用多孔质母材从下方的末端依次透明玻璃化。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的制造方法，其中

所述第1工序通过将所述光纤用多孔质母材整体加热，来对所述光纤用多孔质母材进行脱水。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其中

所述第1工序使用以沿着所述光纤用多孔质母材的延伸方向的方式排列配置在所述石英炉芯管周围的多个加热装置，将所述光纤用多孔质母材整体加热。

13.根据权利要求12所述的制造方法，其中

所述第3工序通过使用所述多个加热装置的一部分来使在所述第1工序中已升温的所述石英炉芯管内部的温度进一步升温，来使所述光纤用多孔质母材透明玻璃化。