[发明专利]一种气体传感器动态性能测试方法在审
申请号: | 202111072730.9 | 申请日: | 2021-09-14 |
公开(公告)号: | CN113514621A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 牛富增;郑小斌;赵勇;胡芸华;黄雪松;张彬 | 申请(专利权)人: | 成都千嘉科技有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人: | 王莹莹 |
地址: | 610211 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 传感器 动态 性能 测试 方法 | ||
1.一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:包括以下步骤:
使用气体产生模块向测量气室中输送浓度为N的气体;
设置在测量气室中的待测气体传感器实时检测测量气室中的气体浓度值;
使用分析模块同步实时检测所述待测气体传感器处的气体浓度值;
对比待测气体传感器检测的气体浓度值和分析模块检测的气体浓度值,分析得出待测气体传感器的测量下限和全量程的准确度。
2.根据权利要求1所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:所述使用气体产生模块向测量气室中输送浓度为N的气体的步骤之前,还包括步骤:
设定测量气室中为固定的温湿度;
使用压缩空气或高浓度氮气对测量气室进行清洗,以消除干扰气体的影响,使得气体产生模块将要输送的气体浓度为零。
3.根据权利要求2所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:所述高浓度氮气指99.999%高纯度的氮气。
4.根据权利要求2所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:所述使用气体产生模块向测量气室中输送浓度为N的气体的步骤,包括:
输送的浓度为N的气体进入测量气室时,先被压缩空气或高浓度氮气稀释,稀释比为测量气室体积与气体产生模块输送的气体体积之比。
5.根据权利要求1所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:所述测量气室的进气口和出气口分别设置有气体单向气阀,设置于进气口的气体单向气阀的方向为由气体产生模块到测量气室;当气体产生模块向测量气室输送气体时,设置于进气口的气体单向气阀开启。
6.根据权利要求1所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:所述分析模块采用激光干涉式对测量气室中待测气体传感器处的气体进行检测;或者所述分析模块采用在线式分析仪对测量气室中待测气体传感器处的气体进行检测。
7.根据权利要求1所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:对比待测气体传感器检测的气体浓度值和分析模块检测的气体浓度值,分析得出待测气体传感器的测量下限的步骤,包括:
从气体产生模块开始输送气体至测量气室时起,直到待测气体传感器检测的气体浓度值与分析模块检测的气体浓度值近似重合之前,待测气体传感器所检测的气体浓度值即为待测气体传感器的测量下限。
8.根据权利要求1所述的一种气体传感器动态性能测试方法,其特征在于:对比待测气体传感器检测的气体浓度值和分析模块检测的气体浓度值,分析得出待测气体传感器全量程的准确度的步骤,包括:
直到待测气体传感器检测的气体浓度值与分析模块检测的气体浓度值近似重合之后,计算分析模块检测的气体浓度值与待测气体传感器检测的气体浓度值的差值,作为测量值与误差值之间的误差,并根据误差进行修正后,得出待测气体传感器全量程的准确度。
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