[发明专利]晶粒行列定位方法、装置和系统以及计算机可读存储介质

说明书

本发明公开了一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法，包括：获取目标晶圆上所有晶粒在检测图像上的像素坐标；获取检测图像上晶粒的周期性信息，根据周期性信息得到相邻晶粒之间的像素坐标差值；根据像素坐标差值分别计算每个晶粒在目标晶圆中的初步行列坐标；根据初步行列坐标和对应的像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵；根据多张检测图像上晶粒的物理坐标对应关系得到每张检测图像的透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，以根据矩阵对应关系得到晶粒的准确行列坐标。其可以解决现有技术定位晶粒时通过像素坐标和周期性进行简单的乘除来获取行列坐标，在图像多的时候会受到累计误差和随机误差影响的问题。

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及到一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法、一种基于多检测图像的晶粒行列定位装置和一种基于多检测图像的晶粒行列定位系统以及一种计算机可读存储介质。

背景技术

晶圆缺陷检测是半导体生产领域中必不可少的一项工艺流程，需要检测出缺陷并输出缺陷所在位置，由于半导体领域的特点，必须需要知道该晶粒处于晶圆上的第几行第几列，而普通的自动光学检测设备输出的坐标是缺陷在该图片上的像素坐标，与行列坐标并不统一，无法直接使用。

现有技术主要通过像素坐标和周期性进行简单的乘除来获取行列坐标。该方法在图像多的时候会受到累计误差和随机误差较大的影响，尤其在晶圆检测领域中动辄上百行的地方，对于机构和光学精度有着过高的要求，难以实现。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法、一种基于多检测图像的晶粒行列定位装置和一种基于多检测图像的晶粒行列定位系统以及一种计算机可读存储介质，其可以解决现有技术定位晶粒时通过像素坐标和周期性进行简单的乘除来获取行列坐标，在图像多的时候会受到累计误差和随机误差影响的问题。

一方面，本发明实施例提供了一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法，包括：获取目标晶圆上所有晶粒在多张所述检测图像上的像素坐标；获取所述检测图像上的所述晶粒的周期性信息，根据所述周期性信息得到相邻所述晶粒之间的所述像素坐标差值；根据所述像素坐标差值分别计算多张所述检测图像中的每个所述晶粒在所述目标晶圆上的初步行列坐标；根据所述初步行列坐标和对应的所述像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵；根据多张所述检测图像上晶粒的物理坐标对应关系得到每张所述检测图像的所述透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，以根据所述矩阵对应关系得到所述晶粒的准确行列坐标。

在本发明的一个实施例中，所述获取所述检测图像上晶粒的周期性信息，具体包括：对所述检测图像上的所有晶粒的所述像素坐标进行快速傅里叶变换，得到所述晶粒的特征矩阵，所述周期性信息由所述特征矩阵表示。

在本发明的一个实施例中，所述周期性信息包括所述晶粒的行周期信息和列周期信息，所述根据所述周期性信息得到相邻所述晶粒之间的所述像素坐标的差值，具体包括：根据所述行周期信息得到同一行所述晶粒之间的所述像素坐标差值，以及根据所述列周期信息得到同一列所述晶粒之间的所述像素坐标差值。

在本发明的一个实施例中，所述根据所述行列坐标和对应所述的像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵，具体包括：由所述行列坐标和所述像素坐标通过投影坐标变换得到所述透视变换矩阵。

在本发明的一个实施例中，在得到所述透视变换矩阵之前，还包括：通过RANSAC方法进行校准，得到最符合所述检测图像的所述透视变换矩阵。