[发明专利]晶粒行列定位方法、装置和系统以及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法，其特征在于，包括：

获取目标晶圆上所有晶粒在多张检测图像上的像素坐标；

获取所述检测图像上的所述晶粒的周期性信息，根据所述周期性信息得到相邻所述晶粒之间的所述像素坐标差值；

根据所述像素坐标差值分别计算多张所述检测图像中的每个所述晶粒在所述目标晶圆上的初步行列坐标；

根据所述初步行列坐标和对应的所述像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵；

根据多张所述检测图像上晶粒的物理坐标对应关系得到每张所述检测图像的所述透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，以根据所述矩阵对应关系得到所述晶粒的准确行列坐标。

2.根据权利要求1所述的基于多检测图像的晶粒定位方法，其特征在于，所述获取所述检测图像上晶粒的周期性信息，具体包括：

对所述检测图像上的所有晶粒的所述像素坐标进行快速傅里叶变换，得到所述晶粒的特征矩阵，所述周期性信息由所述特征矩阵表示。

3.根据权利要求2所述的基于多检测图像的晶粒定位方法，其特征在于，所述周期性信息包括所述晶粒的行周期信息和列周期信息，所述根据所述周期性信息得到相邻所述晶粒之间的所述像素坐标的差值，具体包括：

根据所述行周期信息得到同一行相邻的所述晶粒之间的所述像素坐标差值，以及根据所述列周期信息得到同一列相邻的所述晶粒之间的所述像素坐标差值。

4.根据权利要求1所述的基于多检测图像的晶粒定位方法，其特征在于，所述根据所述初步行列坐标和对应的所述像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵，具体包括：

由所述初步行列坐标和所述像素坐标通过投影坐标变换得到所述透视变换矩阵。

5.根据权利要求1所述的基于多检测图像的晶粒定位方法，其特征在于，在得到所述透视变换矩阵之前，还包括：通过RANSAC方法进行校准，得到最符合所述检测图像的所述透视变换矩阵。

6.根据权利要求1所述的基于多检测图像的晶粒定位方法，其特征在于，所述根据多张所述检测图像上晶粒的物理坐标对应关系得到每张所述检测图像的所述透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，具体包括：

获取第一检测图像上的第一晶粒的第一像素坐标，并根据所述第一检测图像的第一透视变换矩阵计算得到所述第一晶粒在所述第一检测图像上的第一行列坐标；

获取第二检测图像，并根据所述第一检测图像与所述第二检测图像的所述物理坐标对应关系得到所述第一晶粒在所述第二检测图像上的预计像素坐标；

根据所述预计像素坐标和所述第二检测图像的第二透视变换矩阵得到所述第一晶粒在所述第二检测图像上的预计行列坐标；

对所述预计行列坐标进行取整，得到目标行列坐标，并根据所述第二透视变换矩阵将所述目标行列坐标转换为目标像素坐标；

根据所述第一像素坐标和所述目标像素坐标得到所述第一透视变换矩阵和所述第二透视变换矩阵之间的所述矩阵对应关系。

7.一种基于多检测图像的晶粒行列定位装置，其特征在于，包括：

像素坐标获取模块，用于获取目标晶圆上所有晶粒在多张所述检测图像上的像素坐标；

周期性信息获取模块，用于获取所述检测图像上的所述晶粒的周期性信息，根据所述周期性信息得到相邻所述晶粒之间的所述像素坐标差值；

初步行列坐标计算模块，用于根据所述像素坐标差值分别计算多张所述检测图像中的每个所述晶粒在所述目标晶圆上的初步行列坐标；

透视变换矩阵得到模块，用于根据所述行列坐标和对应的所述像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵；

矩阵对应关系得到模块，用于根据多张所述检测图像上晶粒的物理坐标对应关系，得到每张所述检测图像的所述透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，以根据所述矩阵对应关系得到所述晶粒的准确行列坐标。

8.根据权利要求7所述的基于多检测图像的晶粒行列定位装置，其特征在于，还包括：矩阵校准模块，用于在得到所述透视变换矩阵之前通过RANSAC方法进行校准，得到最符合所述检测图像的所述透视变换矩阵。