[发明专利]掩膜版组件及其制造方法、显示基板、显示装置在审
申请号: | 202111065630.3 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113789497A | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 白珊珊;李彦松 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜版 组件 及其 制造 方法 显示 显示装置 | ||
1.一种掩膜版组件,用于制作显示基板,其特征在于,包括:
掩膜框架,包括内侧凹槽区域和外侧区域,所述外侧区域具有第一厚度,所述内侧凹槽区域具有第二厚度;
掩膜版,固定于所述掩膜框架的所述内侧凹槽区域,包括开口区和遮挡区且具有第三厚度,所述开口区对应于所述显示基板的显示区域,所述掩膜版在所述掩膜框架上的正投影覆盖所述内侧凹槽区域;其中,所述第一厚度大于或等于所述第二厚度与所述第三厚度之和;
定位掩膜版,固定于所述掩膜框架的所述外侧区域,并设置有定位孔,所述定位孔用于将所述掩膜版与所述显示基板进行对准。
2.根据权利要求1所述的掩膜版组件,其特征在于,包括:
辅助掩膜版,固定在所述掩膜框架的所述外侧区域,且其在所述掩膜版上的正投影遮盖所述掩膜版上的所述开口区的至少一条边缘。
3.根据权利要求2所述的掩膜版组件,其特征在于,所述辅助掩膜版包括:具有第四厚度的凸起区域和具有第五厚度的中间区域,所述凸起区域固定于所述外侧区域,所述中间区域在所述掩膜版上的正投影覆盖所述开口区的至少一条边缘,所述第四厚度大于所述第五厚度。
4.根据权利要求3所述的掩膜版组件,其特征在于,所述开口区数量为多个且多个所述开口区形成阵列排布,所述辅助掩膜版在所述掩膜版上的正投影覆盖横向排列或纵向排列的多个所述开口区的同侧边缘。
5.根据权利要求3所述的掩膜版组件,其特征在于,所述开口区数量为多个且多个所述开口区形成阵列排布,所述辅助掩膜版在所述掩膜版上的正投影覆盖横向排列或纵向排列的多个所述开口区的相对侧的边缘和所述相对侧的边缘之间的遮挡区。
6.根据权利要求3所述的掩膜版组件,其特征在于,横向设置的所述辅助掩膜版的凸起区域的朝向与纵向设置的所述辅助掩膜版的凸起区域的朝向相对。
7.根据权利要求6所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第四厚度为所述第五厚度的2倍。
8.一种掩膜版组件的制作方法,其特征在于,包括:
提供具有第一厚度的掩膜框架;
蚀刻所述掩膜框架内侧的边缘区域,形成具有第二厚度的内侧凹槽区域;
拉伸具有定位孔的定位掩膜版并固定在所述掩膜框架的外侧区域上;其中,所述定位孔用于将所述掩膜版与所述显示基板进行对准;
基于所述定位孔将掩膜版与所述掩膜框架对准后,拉伸所述掩膜版,并与所述内侧凹槽区域固定,所述掩膜版包括开口区和遮挡区,且具有第三厚度;其中,所述第一厚度大于或等于所述第二厚度与所述第三厚度之和。
9.一种显示基板,其特征在于,包括:采用权利要求1-7中任一项所述的掩膜版组件形成的功能层。
10.一种显示装置,其特征在于,包括根据权利要求9所述的显示基板。
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