[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置在审
申请号: | 202111065473.6 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113745411A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 李新连;肖平;赵志国;秦校军;赵东明;张赟;夏渊;张杰 | 申请(专利权)人: | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 100036 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钙钛矿 太阳能电池 原位 退火 装置 | ||
本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置,包括:基片;平台;加热组件,加热组件设置在平台附近,用于给基片提供热量;控制开关,控制开关用于控制加热组件的启停。在本发明中,在平台的基片上涂布膜层,涂布后膜层的位置不必发生变化,直接通过控制开关将加热组件打开,就可以对膜层进行加热退火。由于省去了向退火炉周转膜层的步骤,因此就能够规避膜层在自然状态下挥发溶剂。另外,本发明将加热组件设置在平台的下方,加热组件的热量通过热辐射快速传递给基片。膜层成型于基片上,如果从基片的底部开始加热,那么膜层中的溶剂会优先与表层的溶剂接收热量,如此便利于膜层中溶剂的挥发,从而解决了膜层中溶剂难以挥发的问题。
技术领域
本发明涉及钙钛矿太阳能电池的成膜技术领域,更具体地说,涉及一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置。
背景技术
钙钛矿型太阳能电池由于高转换效率、低成本、环境友善等优点正在受到越来越广泛的关注。并且,钙钛矿太阳能的光电转换效率在短短几年内提升了数倍,表现出非常优异的光电性能。钙钛矿太阳能电池的膜层的制备方法如下:在基板上制备一层透明导电薄膜,用于受光侧的电极层,然后在透明导薄膜上制备一层载流子传输层,在载流子传输层上方制备钙钛矿层作为光吸收层,然后在光吸收层上制备另一侧的载流子传输层,最后再制备金属层作为另一侧的透明导电薄膜。
在成型膜层后,通过风刀吹扫膜层表面,以快速蒸发去除溶剂。之后还需要将膜层放入到退火炉中进行退火处理,以进一步地去除溶剂并完成膜层结晶。但是,在将膜层转移到退火炉的过程中,膜层中残余的溶剂可能会在自然状态下挥发,这样会影响钙钛矿电池的成品质量。
因此,如何缩短膜层向退火炉的周转时间,从而避免溶剂在自然状态下挥发,进而确保成品质量,是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
发明内容
本发明的目的是缩短膜层向退火炉的周转时间,从而避免溶剂在自然状态下挥发,进而确保成品质量。为实现上述目的,本发明提供了如下技术方案:
一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置,包括:
基片;
平台,所述基片设置在所述平台上;
加热组件,所述加热组件设置在所述平台附近,用于给所述基片提供热量;
控制开关,所述控制开关用于控制所述加热组件的启停。
优选地,所述加热组件设置在所述平台的下方,所述加热组件的热量以热辐射的方式传递给所述基片。
优选地,所述平台的材质为耐高温玻璃。
优选地,所述耐高温玻璃为高鹏硅玻璃或石英玻璃。
优选地,所述平台包括平台主体和支撑腿,所述支撑腿设置在所述平台主体的侧部,用于支撑所述平台主体,所述加热组件位于所述平台主体的正下方。
优选地,所述加热组件为石英加热管,所述控制开关用于控制所述石英加热管的通断。
优选地,所述石英加热管为多个,多个所述石英加热管成列布置。
优选地,所述平台上设置有吸附孔,所述吸附孔与负压泵连通,所述吸附孔用于吸附所述基片。
从上述技术方案可以看出,在本发明中,在膜层经过成型、风刀去溶剂后,膜层的位置不必发生变化,直接通过控制开关将加热组件打开,就可以对膜层进行加热退火。由于省去了向退火炉周转膜层的步骤,因此就能够规避膜层在自然状态下挥发溶剂,从而提高了钙钛矿太阳能电池的成品质量。另外,由于省去了向退火炉周转膜层的步骤,因此减少了工人的劳动量和设备数量,有利于降低成本和提高产线节拍。
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