[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置在审
| 申请号： | 202111065473.6 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113745411A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李新连;肖平;赵志国;秦校军;赵东明;张赟;夏渊;张杰 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 100036 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 太阳能电池 原位 退火 装置 | ||
1.一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，包括：
基片；
平台，所述基片设置在所述平台上；
加热组件，所述加热组件设置在所述平台附近，用于给所述基片提供热量；
控制开关，所述控制开关用于控制所述加热组件的启停。
2.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述加热组件设置在所述平台的下方，所述加热组件的热量以热辐射的方式传递给所述基片。
3.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述平台的材质为耐高温玻璃。
4.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述耐高温玻璃为高鹏硅玻璃或石英玻璃。
5.根据权利要求2所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述平台包括平台主体和支撑腿，所述支撑腿设置在所述平台主体的侧部，用于支撑所述平台主体，所述加热组件位于所述平台主体的正下方。
6.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述加热组件为石英加热管，所述控制开关用于控制所述石英加热管的通断。
7.根据权利要求6所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述石英加热管为多个，多个所述石英加热管成列布置。
8.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，其特征在于，所述平台上设置有吸附孔，所述吸附孔与负压泵连通，所述吸附孔用于吸附所述基片。
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