[发明专利]一种电镀铜湿润剂及其应用在审
| 申请号: | 202111060330.6 | 申请日: | 2021-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN113622002A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
| 发明(设计)人: | 李初荣;韦金宇;陈钜;夏海 | 申请(专利权)人: | 珠海市板明科技有限公司 |
| 主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
| 代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 李莹 |
| 地址: | 519000 广东省珠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 镀铜 湿润剂 及其 应用 | ||
1.一种电镀铜湿润剂,其特征在于,包括以下组分:
浓度为1-3g/L的丙二醇、1-3g/L的甘油或质量分数为2-5%的乙醇中的任一种;
浓度为3-6g/L的丁基萘磺酸钠或2-4g/L的十二烷基硫酸钠;
质量分数为0.5~2%非离子表面活性剂;质量分数为0.5~2%高分子抑制剂;质量分数为0.5~2%润湿材料;余量为去离子水。
2.如权利要求1所述的电镀铜湿润剂,其特征在于,所述的非离子表面活性剂选自烷基酚聚氧乙烯醚、吐温-80、司盘-60、脂肪酸聚氧乙烯酯的任一种。
3.如权利要求1所述的电镀铜湿润剂,其特征在于,所述的高分子抑制剂选自草酸、巯基乙酸钠、羧甲基纤维素的任一种。
4.如权利要求1所述的电镀铜湿润剂,其特征在于,所述的润湿材料为二乙醇胺或三乙醇胺。
5.如权利要求1所述的电镀铜湿润剂,其特征在于,所述的电镀铜湿润剂在电镀液中的添加量为5-15mL/L。
6.如权利要求5所述的电镀铜湿润剂,其特征在于,所述的电镀铜湿润剂在电镀液中的添加量为8-12mL/L。
7.如权利要求1-4任一项所述的电镀铜湿润剂的制备方法,其特征在于,按照所需比例称取丙二醇/乙醇/甘油中的一种、丁基萘磺酸钠/十二烷基硫酸钠中的一种、非离子表面活性剂、高分子抑制剂、润湿材料和去离子水,混合均匀,搅拌30-60min,得到所述的电镀铜湿润剂。
8.一种电镀液,其特征在于,包括如权利要求1-6任一项所述的电镀铜湿润剂。
9.如权利要求8所述的电镀液,其特征在于,含有5-15mL/L所述的电镀铜湿润剂。
10.如权利要求9所述的电镀液,其特征在于,含有8-12mL/L所述的电镀铜湿润剂。
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