[发明专利]一种控制硅烷上线的方法制备方法

说明书

本发明公开了一种控制硅烷上线的方法，涉及特殊气体技术领域，包括三通阀、ISO管束气动阀、莲花盘气源以及手动气源控制所述三通阀用于对硅烷气体在ISO管束气动阀和莲花盘气源进行通气，所述ISO管束气动阀用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出，所述莲花盘气源用于对管路中的压力进行控制。本发明手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用，使用三通阀及软管，将莲花盘接口接至三通一侧，将ISO车气动阀管路接到三通一侧，系统通气，由于压力较高(120kg)手动控制将ISO车管束内阀门缓慢打开，实时检测管道内压力，逐步提升，解决了系统冲压的危险，保护各阀门的状态，使阀门得到了缓冲；更好的控制整个系统的稳定。

技术领域

本发明涉及特殊气体技术领域，具体为一种控制硅烷上线的方法制备方法。

背景技术

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础；硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称；硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。

针对现有技术存在以下问题：

1、硅烷ISO车辆满车，系统默认每次硅烷上线瞬间打开，存在严重的安全风险；

2、硅烷ISO车辆满车，针对硅烷上线系统的安全系数低，不能及时规避现场安全及财产损失。

发明内容

本发明的目的是提供一种控制硅烷上线的方法制备方法，具备手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用的优点，解决了上述背景技术中提到安全风险的问题。

本发明为解决上述技术问题，提供如下技术方案：一种控制硅烷上线的方法，包括三通阀、ISO管束气动阀、莲花盘气源以及手动气源控制。

所述三通阀用于对硅烷气体在ISO管束气动阀和莲花盘气源进行通气。

所述ISO管束气动阀用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出。

所述莲花盘气源用于对管路中的压力进行控制。

所述手动气源控制用于对压力的提升起到安全控制的作用。

进一步的，所述莲花盘气源、接ISO管束气动阀配合软管分别与三通阀的接口连接，且管路串通，所述三通阀的剩余一个接口连接在常开管道上。

进一步的，所述软管包括ISO管束气动阀管和莲花盘气源管。

进一步的，该控制硅烷上线的方法包括自动控制和手动控制，其自动控制包括以下步骤：

A1、打开硅烷上线的气动阀安全锁；

A2、将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力；

A3、系统控制开关；

其手动控制包括以下步骤：

B1、首先将所有管道连接，

B2、手动控制常开管道进行缓慢打开ISO管束气动阀。

进一步的，所述将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力的方法为：在ISO管束气动阀处于打开时常开管道被封堵，此时莲花盘气源、接ISO管束气动阀串通，且形成压力进行打开阀门。

进一步的，所述手动控制过程中的B步骤在打开ISO管束气动阀时，使硅烷气体缓慢通过，减小硅烷气体的供给量。