[发明专利]一种控制硅烷上线的方法制备方法在审
| 申请号： | 202111056684.3 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113685724A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郭海涛 | 申请（专利权）人： | 天合光能（宿迁）光电有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 控制 硅烷 上线 方法 制备 | ||
1.一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：包括三通阀(3)、ISO管束气动阀(2)、莲花盘气源(1)以及手动气源控制；
所述三通阀(3)用于对硅烷气体在ISO管束气动阀(5)和莲花盘气源(6)进行通气；
所述ISO管束气动阀(2)用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出；
所述莲花盘气源(1)用于对管路中的压力进行控制；
所述手动气源控制用于对压力的提升起到安全控制的作用。
2.根据权利要求1所述的一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：所述莲花盘气源(1)、接ISO管束气动阀(2)配合软管分别与三通阀(3)的接口连接，且管路串通，所述三通阀(3)的剩余一个接口连接在常开管道(4)上。
3.根据权利要求2所述的一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：所述软管包括ISO管束气动阀管(5)和莲花盘气源管(6)。
4.根据权利要求3所述的一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：该控制硅烷上线的方法包括自动控制和手动控制，其自动控制包括以下步骤：
A1、打开硅烷上线的气动阀安全锁；
A2、将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力；
A3、系统控制开关；
其手动控制包括以下步骤：
B1、首先将所有管道连接，
B2、手动控制常开管道(4)进行缓慢打开ISO管束气动阀(2)。
5.根据权利要求4所述的一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：所述将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力的方法为：在ISO管束气动阀(2)处于打开时常开管道(4)被封堵，此时莲花盘气源(1)、接ISO管束气动阀(2)串通，且形成压力进行打开阀门。
6.根据权利要求4所述的一种控制硅烷上线的方法，其特征在于：所述手动控制过程中的B2步骤在打开ISO管束气动阀(2)时，使硅烷气体缓慢通过，减小硅烷气体的供给量。
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