[发明专利]一种衬底输送机构

权利要求书

1.一种衬底输送机构，其特征在于，作用在浸于液体且成列放置的衬底组上，所述衬底输送机构包括：

基座组件；

输送组件，所述输送组件包括：

主动轮，所述主动轮设置在基座组件上；

从动轮，所述从动轮设置有若干个，若干个从动轮设置在基座组件上，且若干个从动轮和主动轮构成一输送框架；

输送带，所述输送带设置在所述输送框架上，并沿输送框架循环运动；且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域，三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区；所述第三带区位于第一带区的上方，且所述第二带区位于第一带区和第三带区之间；

捋水组件，所述捋水组件设置在基座组件上；

其中，所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上，并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低。

2.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述捋水组件包括：

捋水架，所述捋水架设置在基座组件上；

捋水件，所述捋水件和捋水架连接，且捋水件固定式抵触或可活动式抵触在位于输送带位于第二带区的部分上。

3.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第三带区至少细分为两段区域，两段区域沿传输方向依次为接引区域和翻转区域，接引区域对接第一带区，翻转区域为一弧形区域；

其中，所述翻转区域对接接引区域，以使得所述衬底经过翻转区域后运动方向改变。

4.如权利要求3所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第一带区和接引区域位于同一输送面上，所述第一带区和接引区域之间的间隔处构成一过渡区域；其中，所述过渡区域和第二带区之间错开，且过渡区域的高度小于衬底沿输送方向的尺寸，通过输送带使得衬底从第一带区运动到第三带区的接引区域。

5.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述从动轮中包括：

第一从动轮，所述第一从动轮位于第二带区，所述第一从动轮作用在输送带上，并通过第一从动轮使得整个输送带处于张紧状态；此外，所述第一从动轮和基座组件之间的位置可调。

6.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述衬底输送机构还包括：

压轮组件，所述压轮组件包括：

压轮基板，所述压轮基板位于输送带的外侧，且压轮基板从第三带区延伸到第一带区；

压轮架，所述压轮架连接基座组件和压轮基板；以及

压轮，所述压轮设置在压轮基板上，压轮的外层质软，压轮包括：

第一压轮，所述第一压轮对应第三带区；

第二压轮，所述第二压轮位于第一压轮的下方，且所述第二压轮对应第一带区；

其中，所述压轮和输送带之间构成压持空间，并通过压持空间限定衬底运动的轨迹。

7.如权利要求6所述的衬底输送机构，其特征在于，所述第一压轮相对于压轮基板可调式连接，以使得第一压轮相对于第三带区的位置可调整。

8.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述输送带的外侧设置有计数件，所述计数件对应第一带区和第三带区的过渡区域，通过计数件使得衬底的输送量可计量。

9.如权利要求1所述的衬底输送机构，其特征在于，所述基座组件包括：

侧板，所述侧板设置在输送带的一侧；

吸附盒，所述吸附盒设置在第一带区的内侧，所述吸附盒对应输送带的一端设置有一个或多个通孔；且所述吸附盒上通孔直接或间接连通一负压源；

其中，所述输送带上贯通设置有若干的吸附孔，所述吸附孔的运动轨迹经过吸附盒上的通孔，通过吸附孔使得输送带带动一衬底运动。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的衬底输送机构，其特征在于，所述衬底输送机构还包括：

移动组件，所述移动组件包括：

固定座；

活动座，所述活动座连接在基座组件上；

滑轨件，所述滑轨件设置在固定座和活动座之间，且所述滑轨件的运动方向和朝向衬底组的方向一致；以及

推动件；所述推动件设置在固定座上，且所述推动件作用在活动座上，通过推动件使得基座组件朝向衬底组运动。