[发明专利]一种高含铂金属的银铂键合丝及其制备方法有效
申请号: | 202111037357.3 | 申请日: | 2021-09-06 |
公开(公告)号: | CN113737049B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 彭庶瑶;彭晓飞 | 申请(专利权)人: | 江西蓝微电子科技有限公司 |
主分类号: | C22C5/06 | 分类号: | C22C5/06;C22C1/03;H01L23/49;H01L33/62;F27B14/04;F27B14/08;F27B14/14 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 周松强 |
地址: | 343000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铂金 银铂键合丝 及其 制备 方法 | ||
1.一种高含铂金属的银铂键合丝制备方法,所述高含铂金属的银铂键合丝按质量分数计,包括银85-99%、铂15-5%、铜0.1-0.2%、钙0.2-0.35%、铬0.003-0.01%和其它掺杂元素0.01-0.02%,所述其它掺杂元素包括铟0.004-0.008%、镧0.004-0.008%以及铱0.003-0.009%,上述各组分之和为100%,其特征在于:所述制备方法使用制备设备实现,所述制备设备包括加热炉(1),所述加热炉(1)内部设置有两个封闭组件(2)以及加热炉(1)后侧设置有第一驱动机构(3),所述第一驱动机构(3)分别驱动两个封闭组件(2)中的封闭板(21)合拢或打开,所述加热炉(1)顶部固定设置有第二驱动机构(4)以及加热炉(1)内腔中部设置有坩埚承载机构(5),所述坩埚承载机构(5)可升降的设置在第二驱动机构(4)上,所述加热炉(1)内腔底部设置有密封解除组件(6),所述第二驱动机构(4)中的第三锥齿轮(43)驱动密封解除组件(6)中的第二往复丝杆(62)带动插入杆(67)左移或右移,所述密封解除组件(6)中的插入杆(67)进入到坩埚承载机构(5)中的联动孔(56)中后,对坩埚承载机构(5)中的密封板(55)进行拉拽,使得坩埚承载机构(5)中的密封板(55)解除对坩埚承载机构(5)中承载座(52)的密封,所述加热炉(1)右侧以及背后两侧均固定连接有排气机构(7),位于右侧的所述排气机构(7)对加热炉(1)中进出料腔室(14)进行抽真空,位于加热炉(1)背后左侧的所述排气机构(7)将加热炉(1)中进出料腔室(14)内部的氩气输入到加热炉(1)中下加热腔室(15)内部,位于加热炉(1)背后右侧的所述排气机构(7)将加热炉(1)中进出料腔室(14)内部的氢气输入到加热炉(1)中上加热腔室(13)内部。
2.根据权利要求1所述的一种高含铂金属的银铂键合丝制备方法,其特征在于:所述加热炉(1)包括炉体(11)、密封门(12)、上加热腔室(13)、进出料腔室(14)和下加热腔室(15),所述密封门(12)通过合页活动连接于炉体(11)正面中部,所述上加热腔室(13)、进出料腔室(14)和下加热腔室(15)由上至下开设于炉体(11)内部,所述上加热腔室(13)与下加热腔室(15)内部均设置有加热管,所述上加热腔室(13)内部填充有氢气,所述下加热腔室(15)内部填充有氩气,两个所述封闭组件(2)分别位于上加热腔室(13)与进出料腔室(14)之间以及进出料腔室(14)与下加热腔室(15)之间,所述密封门(12)位于进出料腔室(14)正面。
3.根据权利要求2所述的一种高含铂金属的银铂键合丝制备方法,其特征在于:所述封闭组件(2)包括两组结构相同且对称设置的封闭机构,所述封闭机构包括封闭板(21)、导向框(22)、第一连接杆(23)、第一弹簧(24)、连接板(25)、第一往复丝杆(26)、传动杆(27)、第一锥齿轮(28)和第一固定板(29),所述导向框(22)滑动套接设置于封闭板(21)外侧,所述导向框(22)固定嵌套设置于炉体(11)外壁上,所述第一连接杆(23)固定设置于封闭板(21)外端,所述第一弹簧(24)与连接板(25)均滑动套接设置于第一连接杆(23)外侧,且第一弹簧(24)一端与封闭板(21)固定连接以及另一端与连接板(25)固定连接,所述第一往复丝杆(26)贯穿连接板(25)并与连接板(25)螺纹连接,所述传动杆(27)通过超越离合器传动设置于第一往复丝杆(26)内端,所述第一锥齿轮(28)固定设置于传动杆(27)内端,所述第一固定板(29)通过轴承转动套接设置于传动杆(27)外侧,且与炉体(11)固定连接;
所述第一驱动机构(3)包括第一电机(31)、旋转轴(32)和第二锥齿轮(33),所述第一电机(31)固定设置于炉体(11)后侧顶部,所述旋转轴(32)传动设置于第一电机(31)底部,所述第二锥齿轮(33)设置有两个,两个所述第二锥齿轮(33)均固定套接设置于旋转轴(32)外侧,且两个所述第二锥齿轮(33)分别与两个封闭组件(2)中四组封闭机构中的四个第一锥齿轮(28)啮合。
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