[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

说明书

本发明提供一种基板处理装置，按组来管理基板的搬运和处理。依次处理部基于针对分为多个组的每个基板设定的依次处理基板数据，依次搬运基板，并对基板进行处理。同时处理部基于针对每个组设定的同时处理基板数据，按组同时处理基板。同时处理基板数据包括用于识别组的组识别信息、将属于该组的基板彼此区分的基板编号、表示该组中的基板在搬运方向上的位置即搬运位置的位置信息、以及用于规定对属于该组的基板共同进行的处理内容的规程信息。依次处理基板数据包括与依次处理基板数据对应的基板的位置信息、组识别信息和规程信息。

技术领域

本发明涉及一种基板处理装置及基板处理方法。

背景技术

为了提高基板处理的处理能力，提出了在装置之间批量搬运多个基板的技术。例如，多个基板被一并搬运到依次处理装置(对此在后面详细描述)。基板在依次处理装置中被一张一张地依次搬运并进行处理。处理后的多个基板被一并搬运到同时处理装置(对此在后面详细描述)。

例如，在下述的专利文献1中，公开了一种基于分别单独的基板数据来控制依次处理装置中的多个基板中每个基板的搬运和处理，并且基于整体的基板数据来控制同时处理装置中的多个基板的搬运和处理的技术。分别单独的基板数据和整体的基板数据中均包含规程信息。基板的处理内容由规程信息来规定。成批的多个基板的规程信息是通用的。

专利文献1：日本特开第2020-17604号公报

当规程信息对于每批(以下，也称为“组”)多个基板通用时，期望按组来管理基板的搬运和处理。例如，期望管理从依次处理装置向同时处理装置搬运的基板属于哪一组。例如，即使属于某一组的任一基板在依次处理装置中被移除，也期望实现这种管理。

发明内容

本发明的基板处理装置及基板处理方法的目的在于，按组来管理基板的搬运和处理。

本发明的基板处理装置包括依次处理部、同时处理部和控制部。所述依次处理部基于针对分为多个组的每个基板设定的依次处理基板数据，依次搬运所述基板，并对所述基板进行处理。所述同时处理部基于针对每个所述组设定的同时处理基板数据，按所述组同时处理所述基板。所述控制部基于所述依次处理基板数据来控制所述依次处理部中的所述基板的搬运和所述处理，基于所述同时处理基板数据来控制所述同时处理部中的所述基板的处理。

所述同时处理基板数据包括用于识别所述组的组识别信息、将属于所述组的所述基板彼此区分的基板编号、表示所述组中的所述基板在搬运方向上的位置即搬运位置的位置信息、以及用于规定对属于所述组的所述基板共同进行的处理内容的规程信息。

所述依次处理基板数据包括与所述依次处理基板数据对应的所述基板的所述位置信息、所述组识别信息和所述规程信息。

所述控制部根据所述同时处理基板数据生成所述依次处理基板数据，根据所述依次处理基板数据生成所述同时处理基板数据。

本发明的基板处理方法包括依次处理和同时处理。在所述依次处理中，基于针对分为多个组的每个基板设定的依次处理基板数据，依次搬运所述基板，并对所述基板进行处理。在同时处理中，基于针对每个所述组设定的同时处理基板数据，按所述组同时处理所述基板。

基于所述依次处理基板数据来控制所述依次处理中的所述基板的搬运和所述处理。基于所述同时处理基板数据来控制所述同时处理中的所述基板的处理。所述同时处理基板数据包括用于识别所述组的组识别信息、将属于所述组的所述基板彼此区分的基板编号、表示所述组中的所述基板在搬运方向上的位置即搬运位置的位置信息、以及用于规定对属于所述组的所述基板共同进行的处理内容的规程信息。

所述依次处理基板数据包括与所述依次处理基板数据对应的所述基板的所述位置信息、所述组识别信息和所述规程信息。

根据所述同时处理基板数据生成所述依次处理基板数据，根据所述依次处理基板数据生成所述同时处理基板数据。