[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，

包括：

依次处理部，基于针对分为多个组的每个基板设定的依次处理基板数据，依次搬运所述基板，并对所述基板进行处理；

同时处理部，基于针对每个所述组设定的同时处理基板数据，按所述组同时处理所述基板；以及

控制部，基于所述依次处理基板数据来控制所述依次处理部中的所述基板的搬运和所述处理，基于所述同时处理基板数据来控制所述同时处理部中的所述基板的处理，

所述同时处理基板数据包括用于识别所述组的组识别信息、将属于所述组的所述基板彼此区分的基板编号、表示所述组中的所述基板在搬运方向上的位置即搬运位置的位置信息、以及用于规定对属于所述组的所述基板共同进行的处理内容的规程信息，

所述依次处理基板数据包括与所述依次处理基板数据对应的所述基板的所述位置信息、所述组识别信息和所述规程信息，

所述控制部根据所述同时处理基板数据生成所述依次处理基板数据，根据所述依次处理基板数据生成所述同时处理基板数据。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述控制部使用所述同时处理基板数据的一个所述基板编号、与所述一个所述基板编号对应的所述位置信息、所述规程信息和最终信息，来生成与所述一个所述基板编号对应的所述基板的所述依次处理基板数据，

所述最终信息表示在与所述一个所述基板编号对应的所述基板所属的所述组中，与所述一个所述基板编号对应的所述基板是否在所述搬运方向上的最末尾。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述控制部使用所述同时处理基板数据的一个所述基板编号、与所述一个所述基板编号对应的所述位置信息、所述组识别信息和所述规程信息，来生成与所述一个所述基板编号对应的所述基板的所述依次处理基板数据。

4.根据权利要求2或3所述的基板处理装置，其中，

所述依次处理部包括用于将所述基板向所述同时处理部送出的出口部，

所述出口部具有检测所述出口部中是否存在所述基板的传感器，

当所述传感器检测到第二所述基板而未检测到第一所述基板，且确认到缺少所述第一所述基板时，所述控制部使用所述第二所述基板的所述依次处理基板数据来生成所述同时处理基板数据，而不使用所述第一所述基板的所述依次处理基板数据，

所述第一所述基板与所述第二所述基板属于相同的所述组，

所述第一所述基板的所述位置信息或所述第二所述基板的所述位置信息表示所述第一所述基板在所述第二所述基板的上游侧。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述依次处理部包括用于将所述基板向所述同时处理部送出的出口部，

所述出口部具有检测所述出口部中是否存在所述基板的传感器，

当所述传感器检测到第一所述基板而未检测到第二所述基板时，所述控制部使用所述第一所述基板的所述依次处理基板数据来生成所述同时处理基板数据，而不使用所述第二所述基板的所述依次处理基板数据，

所述第一所述基板与所述第二所述基板属于相同的所述组，

所述第一所述基板的所述位置信息或所述第二所述基板的所述位置信息表示所述第一所述基板在所述第二所述基板的上游侧。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述依次处理部包括用于从所述同时处理部接收所述基板的入口部，

所述入口部具有检测所述入口部中是否存在所述基板的传感器，

当所述入口部中的所述传感器检测到第四所述基板而未检测到第三所述基板时，所述控制部生成所述第四所述基板的所述依次处理基板数据，而不生成所述第三所述基板的所述依次处理基板数据，

所述第三所述基板与所述第四所述基板属于相同的所述组。

7.一种基板处理方法，包括：

依次处理，基于针对分为多个组的每个基板设定的依次处理基板数据，依次搬运所述基板，并对所述基板进行处理；

同时处理，基于针对每个所述组设定的同时处理基板数据，按所述组同时处理所述基板，其中，

基于所述依次处理基板数据来控制所述依次处理中的所述基板的搬运和所述处理，

基于所述同时处理基板数据来控制所述同时处理中的所述基板的处理，

所述同时处理基板数据包括用于识别所述组的组识别信息、将属于所述组的所述基板彼此区分的基板编号、表示所述组中的所述基板在搬运方向上的位置即搬运位置的位置信息、以及用于规定对属于所述组的所述基板共同进行的处理内容的规程信息，

所述依次处理基板数据包括与所述依次处理基板数据对应的所述基板的所述位置信息、所述组识别信息和所述规程信息，

根据所述同时处理基板数据生成所述依次处理基板数据，根据所述依次处理基板数据生成所述同时处理基板数据。