[发明专利]对准装置在审

专利信息
申请号: 202111029230.7 申请日: 2021-09-02
公开(公告)号: CN114188259A 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 井浦惇 申请(专利权)人: 株式会社达谊恒
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李逸雪
地址: 日本国大阪府大阪*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 对准 装置
【权利要求书】:

1.一种对准装置,其特征在于,具备:

具有支承工件的第1支承部以及用于使上述第1支承部绕着第1垂直轴旋转驱动的第1驱动源的第1旋转驱动机构;

具有支承上述工件的第2支承部以及用于使上述第2支承部绕着第2垂直轴旋转驱动的第2驱动源的第2旋转驱动机构;和

使被支承在上述第2支承部的上述工件上下活动的升降机构。

2.根据权利要求1所述的对准装置,其特征在于,

上述第1支承部具有载置上述工件的第1载置面,

上述升降机构具有载置上述工件的第2载置面,并使该第2载置面在比上述第1载置面更下方的第1位置与比上述第1载置面更上方的第2位置之间上下活动。

3.根据权利要求2所述的对准装置,其特征在于,

上述升降机构包含水平方向上相互分离配置的多个升降缸,

上述各升降缸在其上端部具有第2载置面。

4.根据权利要求3所述的对准装置,其特征在于,

上述第1旋转驱动机构具有:与上述第1驱动源连结且沿水平面延伸的第1臂;通过上述第1驱动源旋转驱动的第1驱动滑轮;被支承成能以上述第1垂直轴为中心通过上述第1臂旋转的第1从动滑轮;和绕挂在上述第1驱动滑轮以及上述第1从动滑轮的第1传送带,

上述第1支承部配置得比上述第1从动滑轮更为上方,且与上述第1从动滑轮连结,

上述第2旋转驱动机构具有:与上述第2驱动源连结且沿水平面延伸的第2臂;通过上述第2驱动源旋转驱动的第2驱动滑轮;被支承成能以上述第2垂直轴为中心通过上述第2臂旋转的第2从动滑轮;和绕挂在上述第2驱动滑轮以及上述第2从动滑轮的第2传送带,

上述第2支承部包含沿水平面延伸的工件支承用臂,

上述多个升降缸相互分离地被上述工件支承用臂支承。

5.根据权利要求4所述的对准装置,其特征在于,

上述第1驱动源相对于上述第1从动滑轮配置在沿水平面的第1方向的一侧,

上述第2从动滑轮以及上述第2驱动源相对于上述第1从动滑轮配置在上述第1方向的另一侧,

上述升降机构由一对升降缸构成,

该一对升降缸夹着上述第1垂直轴相互配置在相反侧。

6.根据权利要求5所述的对准装置,其特征在于,

具备多个第1旋转驱动机构、多个第2旋转驱动机构以及多个升降机构,

上述多个第1旋转驱动机构各自中的第1从动滑轮配置成在上下方向上相互隔开间隔且在俯视观察下重叠,

上述多个第1旋转驱动机构各自中的第1驱动源以及第1驱动滑轮在俯视观察下为在上述第1垂直轴的周向上隔开间隔配置,

上述多个第2旋转驱动机构各自中的第2从动滑轮配置成在上下方向上相互隔开间隔且在俯视观察下重叠,

上述多个第2旋转驱动机构各自中的第2驱动源以及第2驱动滑轮在俯视观察下为在上述第2垂直轴的周向上隔开间隔配置。

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