[发明专利]一种有机镧前驱体La(iPr2 在审
| 申请号: | 202111027640.8 | 申请日: | 2021-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN113582879A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 张学奇;严达;朱思坤;李建恒 | 申请(专利权)人: | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | C07C257/12 | 分类号: | C07C257/12 |
| 代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 赵丹 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有机 前驱 la ipr base sub | ||
1.一种有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,通过N,N'-二异丙基甲脒、ML和LaCl3·xTHF反应制备La(iPr2-FMD)3,ML为金属氢化物或氨基金属,M为金属钠或钾,L为H、NH2或N(SiMe3)2,LaCl3·xTHF中x值为0.7-1.5,其化学反应通式为:
具体包括以下步骤:
S1、向反应器中加入金属氢化物或氨基金属和THF,在室温和N2保护下缓慢滴入N,N'-二异丙基甲脒的四氢呋喃溶液,滴加完毕后,反应体系的温度升至30-50℃,维持此反应温度继续反应4-6h,反应完毕后,降至室温,过滤除去过量的固体,得到产物A;
S2、室温下将LaCl3·xTHF分批缓慢加入产物A中,加热至30-50℃,回流20-30h,将反应体系降温至室温,过滤后滤饼用正己烷洗涤,合并收集滤液,常压下将滤液溶剂蒸干后加入正己烷萃取产品,再次过滤,收集滤液,将滤液减压蒸馏除掉正己烷,得到La(iPr2-FMD)3粗品;
S3、向La(iPr2-FMD)3粗品中加入正己烷萃取,过滤掉固体,浓缩滤液,将滤液在-20℃下过夜重结晶,过滤,滤饼用少量冷的正己烷洗涤,收集滤饼,真空干燥后在真空下进行升华后得到La(iPr2-FMD)3。
2.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述有机镧前驱体La(iPr2-FMD)包括以下摩尔份原料:N,N'-二异丙基甲脒3.0-3.1份、ML3.0-3.5和LaCl3·xTHF1份。
3.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中滴加N,N'-二异丙基甲脒后将反应体系的温度升至40℃并维持温度继续反应5h。
4.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中加入LaCl3·xTHF后加热至40℃回流反应24h。
5.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中升华温度90-120℃,真空度为0.05-0.2mbar。
6.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述N,N'-二异丙基甲脒制备方法包括以下步骤:
(1)在N2保护下,向3L四口烧瓶中加入原甲酸三乙酯、冰乙酸,在室温下充分搅拌,向反应体系中缓慢滴加二异丙胺,同时生成大量固体,滴加完成后,升高反应体系的温度至95-105℃,回流1-3小时;
(2)常压蒸馏除去生成的乙醇,减压蒸馏除去剩余的原甲酸三乙酯;
(3)反应体系中加入500ml无水乙醚,持续搅拌,并缓慢加入NaOH水溶液,静置,待反应体系分层,收集有机相,水相用乙醚萃取两次,合并有机相,有机相用纯水洗涤后,使用无水MgSO4干燥过夜;
(4)过滤掉MgSO4,蒸馏除去乙醚,此时生成粘稠固体,加入正己烷溶解固体后,-20℃下重结晶得到白色针状N,N'-二异丙基甲脒。
7.根据权利要求1所述的有机镧前驱体La(iPr2-FMD)3的制备方法,其特征在于,所述步骤LaCl3·xTHF制备方法包括以下步骤:
A、将La粉、三甲基氯硅烷及THF加入反应器中搅拌混合;
B、在室温和N2保护下缓慢滴入无水乙醇,滴加完成后,恢复至室温搅拌10-14h;
C、向反应器中再次加入三甲基氯硅烷和无水乙醇,加热至55-65℃,回流10-14h,得到白色悬浊液;
D、常压下蒸馏除去四氢呋喃,悬浊液冷却后过滤,滤饼分别用四氢呋喃、正己烷洗涤三次,真空下干燥后得到LaCl3·xTHF。
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