[发明专利]一种盲孔电镀方法和电镀装置

权利要求书

1.一种盲孔电镀方法，其特征在于，盲孔电镀需要经过至少1次清洗处理、N+1次酸浸处理、N+1次电镀和N次加速处理，其中，N为自然数；电镀步骤包括：

(1)清洗待镀件表面的异物；

(2)将待镀件浸泡在第一酸浸槽中；

(3)将待镀件放入第一电镀槽中进行电镀；

(4)将待镀件水洗干净，然后放入第一加速槽中加速；

(5)将待镀件水洗干净，然后浸泡在第二酸浸槽中；

(6)将待镀件放入第二电镀槽中进行电镀。

2.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，电镀步骤还包括：

(7)将待镀件水洗干净，然后放入下一个加速槽中加速；

(8)将待镀件水洗干净，然后浸泡在下一个酸浸槽中；

(9)将待镀件放入下一个电镀槽中进行电镀；

(10)重复步骤(7)～步骤(9)N-1次。

3.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有酸浸槽中的溶液组成相同，包含50～150ml/L的浓硫酸；浸泡过程中，溶液必须采用强制对流。

4.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有电镀槽中溶液组成相同，包含五水硫酸铜160～280g/L、浓硫酸20～100g/L、氯离子20～80mg/L以及有机添加剂；电镀过程中，溶液必须采用强制对流，溶液温度18～40℃，电镀时间5～60min。

5.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所述第二电镀槽至第N+1电镀槽中溶液组成相同，但第二电镀槽与第一电镀槽中溶液组成不同；第一电镀槽中包含五水硫酸铜50～120g/L、浓硫酸160～260g/L、氯离子20～80mg/L，第二电镀槽至第N+1电镀槽中包含五水硫酸铜160～280g/L、浓硫酸20～100g/L、氯离子20～80mg/L；电镀过程中，溶液必须采用强制对流，溶液温度18～40℃，电镀时间5～60min。

6.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有加速槽中溶液组成相同，包含浓硫酸50～150ml/L和氧化剂；加速过程中，溶液无强制对流。

7.根据权利要求6所述的一种盲孔电镀方法，加速槽溶液的氧化剂为：双氧水和过硫酸钠中的至少一种。

8.一种盲孔电镀装置，其特征在于，所述电镀装置包括待镀件、多段式电镀槽，其中多段式电镀槽包括第一电镀模块和第二电镀模块，所述第一电镀模块包括酸浸槽和电镀槽；所述第二电镀模块包括加速槽、酸浸槽、电镀槽。

9.根据权利要求8所述的一种盲孔电镀装置，所述第二电镀模块的数量大于等于2。