[发明专利]一种半导体制程管道的清洁方法

说明书

本发明公开了一种半导体制程管道的清洁方法，涉及半导体制程管道技术领域，包括以下步骤：预先制备清洁涂料，再进行对半导体制程管道进行二次总成钝化，进行保护焊缝区域因打磨处理而导致一次钝化膜被破坏的区域，进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，将制备半成品涂抹清洁涂料制得成品。本发明经浸镍处理的半导体制程管道，强度大大提高，而通过半导体制程管道涂抹清洁涂料，提高其耐腐蚀性能，不仅消除潜在质量隐患，满足加工工艺要求且满足生产装配需求的同时，而且使用状况优良，延长半导体制程管道的使用寿命，保证生产装配运营，节约生产售后维修成本。

技术领域

本发明涉及半导体制程管道技术领域，具体来说，涉及一种半导体制程管道的清洁方法。

背景技术

管道运输是用管道作为运输工具的一种长距离输送液体和气体物资的输方式，半导体制程管道是统一运输网中干线运输的特殊组成部分。

腐蚀是指周围环境中的介质作用于基材使之产生破坏或变质的行为，腐蚀不仅会造成严重的直接或间接的经济损失，还会引起能源的极大浪费。据不完全统计，根据各国经济发达程度的不同和腐蚀控制水平的差异，腐蚀造成的经济损失对经济的影响是当年GDP的1.5％～4.2％不等。近年来，因管道老化、点蚀等原因引起的腐蚀问题尤为突出，造成巨大的经济损失、资源浪费，人员伤亡也在所难免。众多行业生产过程中，半导体制程管道因环境恶劣形成的化学、微生物等腐蚀导致生产器械的跑冒滴漏，这不仅使工艺过程中的有害物质释放，污染环境，危害人类身体健康，而且也给社会经济造成巨大的损失，同时也造成资源的巨大浪费。

因此，亟需一种半导体制程管道的清洁方法。

检索中国专利CN 211780217U公开了一种半导体制程特种气体用输送管道，包括输送管道，所述输送管道上套设有固定环，所述固定环内套设有密封套垫，所述固定环上相对的侧壁上均固定连接有限位环，两个所述限位环上相对的侧壁上均螺纹连接有限位机构，所述输送管道的侧壁上固定连接有两个连接环，两个所述连接环与固定环之间通过多个连接装置相连接。结构设计合理，减少了气体输送管道的安全隐患。但其仅仅公开了气体输送管道的结构，仍存在使用寿命低等问题，不利于生产发展的使用需求。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中的问题，本发明提出一种半导体制程管道的清洁方法，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种半导体制程管道的清洁方法，包括以下步骤：

预先制备清洁涂料，其中清洁涂料包括以下原料组份：

TiO₂(二氧化钛)19.3％、SiO₂(二氧化硅)6.4％、Al₂O₃(三氧化二铝)10.3％、Al(H₂PO₄)₃(磷酸二氢铝)54％和MgO(氧化镁)10％；

进行对半导体制程管道进行二次总成钝化，进行保护焊缝区域因打磨处理而导致一次钝化膜被破坏的区域；

进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，包括以下步骤：

预先在酸性溶液中于常温条件下处理20～30分钟；

用工业纯水冲洗后，置于重铬酸钾溶液中室温处理2～4分钟；

再取出用工业纯水冲洗，工业纯水冲洗，在镍盐溶液中浸泡1～3分钟；

取出，用工业纯水洗净处理后表面，进行干燥制备半成品；

将制备半成品涂抹清洁涂料，制得成品，其中，所获涂层的厚度为 26um，附着力为一级，抗冲击性能为20cm，磨损量为0.0003g。