[发明专利]一种半导体制程管道的清洁方法

权利要求书

1.一种半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：

预先制备清洁涂料，其中清洁涂料包括以下原料组份：

TiO₂ 19.3％、SiO₂ 6.4％、Al₂O₃ 10.3％、Al(H₂PO₄)₃ 54％和MgO 10％；

进行对半导体制程管道进行二次总成钝化，进行保护焊缝区域因打磨处理而导致一次钝化膜被破坏的区域；

进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，包括以下步骤：

预先在酸性溶液中于常温条件下处理20～30分钟；

用工业纯水冲洗后，置于重铬酸钾溶液中室温处理2～4分钟；

再取出用工业纯水冲洗，工业纯水冲洗，在镍盐溶液中浸泡1～3分钟；

取出，用工业纯水洗净处理后表面，进行干燥制备半成品；

将制备半成品涂抹清洁涂料，制得成品，其中，所获涂层的厚度为26um，附着力为一级，抗冲击性能为20cm，磨损量为0.0003g。

2.根据权利要求1所述的半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，

进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，包括以下步骤：

预先在酸性溶液中于常温条件下处理20分钟；

用工业纯水冲洗后，置于重铬酸钾溶液中室温处理2分钟；

再取出用工业纯水冲洗，工业纯水冲洗，在镍盐溶液中浸泡1分钟；

取出，用工业纯水洗净处理后表面，进行干燥制备半成品；

将制备半成品涂抹清洁涂料，制得成品，其中，所获涂层的厚度为26um，附着力为一级，抗冲击性能为20cm，磨损量为0.0003g。

3.根据权利要求1所述的半导体制程管道的清洁方法，

进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，包括以下步骤：

预先在酸性溶液中于常温条件下处理25分钟；

用工业纯水冲洗后，置于重铬酸钾溶液中室温处理3分钟；

再取出用工业纯水冲洗，工业纯水冲洗，在镍盐溶液中浸泡2分钟；

取出，用工业纯水洗净处理后表面，进行干燥制备半成品；

将制备半成品涂抹清洁涂料，制得成品，其中，所获涂层的厚度为26um，附着力为一级，抗冲击性能为20cm，磨损量为0.0003g。

4.根据权利要求1所述的半导体制程管道的清洁方法，

进行对半导体制程管道被焊缝区域进行浸镍处理，包括以下步骤：

预先在酸性溶液中于常温条件下处理30分钟；

用工业纯水冲洗后，置于重铬酸钾溶液中室温处理4分钟；

再取出用工业纯水冲洗，工业纯水冲洗，在镍盐溶液中浸泡3分钟；

取出，用工业纯水洗净处理后表面，进行干燥制备半成品；

将制备半成品涂抹清洁涂料，制得成品，其中，所获涂层的厚度为26um，附着力为一级，抗冲击性能为20cm，磨损量为0.0003g。

5.根据权利要求2、3或4所述的半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，所述酸性溶液，包括以下原料组份：

FeCl₃·6H₂O 92克、HCl 800毫升和工业纯水458毫升。

6.根据权利要求5所述的半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，所述重铬酸钾溶液，包括以下原料组份：

K₂Cr₂O₇ 90克、H₂SO₄ 800毫升和工业纯水450毫升。

7.根据权利要求6所述的半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，所述镍盐溶液，包括以下原料组份：

NiSO₄·6H₂O 42克、CH₃COONa 18克、NaH₂PO₄·H₂O 12克和工业纯水1130毫升。

8.根据权利要求7所述的半导体制程管道的清洁方法，其特征在于，所述将制备半成品涂抹清洁涂料，包括半成品基材温度20℃，喷砂除锈等级为Sa2.5，空气吹扫压力为0.5MPa，涂层厚度为26um。