[发明专利]一种蠕虫形氧化硅磨粒及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202111008612.1 申请日: 2021-08-31
公开(公告)号: CN113716568A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 雷红;丁振宇 申请(专利权)人: 昆山捷纳电子材料有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021;C09G1/02
代理公司: 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 代理人: 曹利华
地址: 215300 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 蠕虫 氧化 硅磨粒 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

S01:晶种的制备:将L-赖氨酸溶于去离子水中,加入正硅酸乙酯,恒温水浴搅拌下反应12h;逐滴滴加正硅酸乙酯;滴加完毕继续恒温水浴搅拌下反应24小时,得到固含量为6.0-8.0wt.%、粒径为10~20nm的球形氧化硅晶种溶液;

S02:蠕虫形氧化硅粒子的制备:取步骤S01得到的球形氧化硅晶种溶液,搅拌条件下添加到含用L-赖氨酸和CaCl2的去离水中,加入正硅酸乙酯,恒温水浴搅拌下反应12h,得到蠕虫形氧化硅粒子;

S03:活性硅酸对蠕虫形氧化硅粒子的生长加固:将步骤S02得到的蠕虫形二氧化硅粒子溶液加热至沸腾,充分搅拌下,逐渐加入固含量为2.0-2.4%的活性硅酸溶液;在反应过程中,通过控制硅酸溶液的滴加速率和水的蒸发速率,使液位保持恒定;同时,添加1wt.%氢氧化钠溶液,以确保反应体系的pH为9.0-10;停止添加完硅酸溶液后,溶液进一步反应1小时,冷却得到蠕虫形氧化硅磨粒。

2.根据权利要求1所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,所述蠕虫形氧化硅磨粒的纵横比为1.8~8.3。

3.根据权利要求1所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,所述步骤S01中正硅酸乙酯和L-赖氨酸的质量比为350:1。

4.根据权利要求1所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,所述步骤S02中L-赖氨酸和CaCl2的质量比为2.5~5:1;氧化硅晶种溶液与L-赖氨酸的质量比为125:1;加入的正硅酸乙酯与氧化硅晶种溶液的质量比为0.35:1。

5.根据权利要求1所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,所述步骤S03中活性硅酸溶液的制备方法为:将水玻璃用去离子水稀释到固含量约为8wt.%的硅酸钠水溶液,并经过阳离子交换树脂得到固含量为2.0-2.4%的活性硅酸溶液。

6.根据权利要求1所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,所述步骤S03中活性硅酸溶液与蠕虫形二氧化硅粒子胶体溶液的质量比为2:1。

7.一种蠕虫形氧化硅磨粒,其特征在于,所述蠕虫形氧化硅磨粒采用权利要求1所述的制备方法得到,且所述氧化硅磨粒的的纵横比为1.8~8.3。

8.一种含有蠕虫形氧化硅磨粒的抛光液,其特征在于,包括权利要求书1~7中任意一项所述的蠕虫形氧化硅磨粒。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山捷纳电子材料有限公司,未经昆山捷纳电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111008612.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top