[发明专利]图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置

权利要求书

1.一种图像获取方法，包括：

通过使用设置在晶片传送路径上方的线扫描相机对垂直于所述晶片的传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像；

从所述局部图像中检测包括预定特征点的局部图像；以及

将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取所述晶片的完整图像。

2.如权利要求1所述的图像获取方法，其中所述局部图像中的每一个包括用于检测所述特征点的感兴趣区域(ROI)。

3.如权利要求1所述的图像获取方法，还包括：

接收用于传送所述晶片的晶片传送机器人的运动事件信号；以及

基于所述运动事件信号提供照明光以获取所述局部图像。

4.如权利要求3所述的图像获取方法，其中在提供所述照明光之后的预定时间内连续获取所述局部图像。

5.如权利要求1所述的图像获取方法，还包括存储所述局部图像。

6.如权利要求5所述的图像获取方法，其中所述局部图像存储在具有预定存储空间的图像存储单元中，当用于存储所述局部图像的存储空间不足时，按照存储所述局部图像的顺序删除所述局部图像。

7.一种图像获取装置，包括：

设置在晶片的传送路径上方的线扫描相机，其用于通过对垂直于所述晶片的传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像；

用于存储所述局部图像的图像存储单元；

用于从所述局部图像中检测包括预定特征点的局部图像的图像分析单元；以及

将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取所述晶片的完整图像的图像合并单元。

8.如权利要求7所述的图像获取装置，其中所述图像分析单元在所述局部图像中设置ROI并分析所述局部图像的ROI以检测包括所述特征点的局部图像。

9.如权利要求7所述的图像获取装置，还包括：

照明单元，其用于从晶片处理装置接收用于传送所述晶片的晶片传送机器人的运动事件信号并基于所述运动事件信号提供照明光以获取所述局部图像，所述晶片处理装置包括所述晶片传送机器人。

10.如权利要求9所述的图像获取装置，其中所述线扫描相机在提供所述照明光之后的预定时间内连续获取所述局部图像。

11.如权利要求10所述的图像获取装置，还包括：

用于基于所述运动事件信号控制所述照明单元的操作的照明控制单元；和

相机控制单元，其用于控制所述线扫描相机的操作，以在提供所述照明光之后的所述预定时间内连续获取所述局部图像。

12.如权利要求7所述的图像获取装置，其中所述图像存储单元具有用于存储所述局部图像的预定存储空间，并在用于存储所述局部图像的存储空间不足时按照所述局部图像存储的顺序删除所述局部图像。

13.一种晶片检查装置，包括：

设置在晶片的传送路径上方的线扫描相机，其用于通过对垂直于所述晶片的传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像；

用于存储所述局部图像的图像存储单元；

用于从所述局部图像中检测包括预定特征点的局部图像的图像分析单元；

将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取所述晶片的完整图像的图像合并单元；以及

用于从所述晶片的完整图像中检测所述晶片的缺陷的图像检查单元。

14.如权利要求13所述的晶片检查装置，其中每个所述局部图像包括用于检测所述特征点的ROI。