[发明专利]图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置

说明书

本发明公开一种图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置。线扫描相机设置在晶片传送路径上方以通过对包括传送路径一部分的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像，并将局部图像存储在图像存储单元中。通过图像分析单元检测局部图像中包括预定特征点的局部图像，图像合并单元将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取晶片的完整图像。图像检查单元分析晶片的完整图像以检测晶片中的缺陷。

技术领域

本公开涉及一种图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置。更具体地，本公开涉及一种在半导体器件的制造过程中在传送晶片的同时获取晶片图像的方法、用于获取图像的装置和用于使用该图像检查晶片的装置。

背景技术

通过重复执行一系列制造工艺，可在诸如硅晶片的衬底上形成半导体器件。例如，为了制造半导体器件，可在晶片上执行各种制造工艺，例如用于在晶片上形成薄层的沉积工艺、用于使薄层图案化以形成电路的光刻工艺、用于使薄层平坦化的平坦化工艺等。

用于执行制造工艺的装置可使用晶片传送机器人沿着预定传送路径传送晶片。装置可配备有图像获取装置，该装置在传送晶片的同时获取晶片图像以用于检查晶片。例如，可在晶片传送路径上方设置线扫描相机，于是线扫描相机可获取沿传送路径移动的晶片的图像。

作为示例，线扫描相机可根据触发信号操作，例如由用于检测晶片的传感器提供的晶片检测信号和晶片传送机器人的编码器信号。然而，由于触发信号的错误或延迟，可能难以获得完整的晶片图像。

发明内容

本发明的实施例提供一种能够在传送晶片的同时稳定地获取晶片的完整图像的图像获取方法和图像获取装置，以及用于使用晶片的完整图像检测晶片的缺陷的晶片检查装置。

根据本发明的一方面，图像获取方法可包括通过使用设置在晶片传送路径上方的线扫描相机对垂直于晶片传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像，从局部图像中检测包括预定特征点的局部图像，以及将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取晶片的完整图像。

根据本发明的一些实施例，每个局部图像可包括用于检测特征点的感兴趣区域(ROI)。

根据本发明的一些实施例，图像获取方法还可包括接收用于传送晶片的晶片传送机器人的运动事件信号，并基于运动事件信号提供照明光以获取局部图像。

根据本发明的一些实施例，可在提供照明光之后的预定时间内连续获取局部图像。

根据本发明的一些实施例，图像获取方法还可包括存储局部图像。

根据本发明的一些实施例，局部图像可存储在具有预定存储空间的图像存储单元中，并且在用于存储局部图像的存储空间不足时，可按照局部图像的存储顺序删除局部图像。

根据本发明的另一方面，图像获取装置可包括：设置在晶片传送路径上方的线扫描相机，其用于通过对垂直于晶片传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像；用于存储局部图像的图像存储单元；用于从局部图像中检测包括预定特征点的局部图像的图像分析单元；以及将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取晶片的完整图像的图像合并单元。

根据本发明的一些实施例，图像分析单元可在局部图像中设置ROI并且可分析局部图像的ROI以检测包括特征点的局部图像。

根据本发明的一些实施例，图像获取装置还可包括用于从晶片处理装置接收用于传送晶片的晶片传送机器人的运动事件信号并基于运动事件信号提供照明光以获取局部图像的照明单元，晶片处理装置包括晶片传送机器人。

根据本发明的一些实施例，线扫描相机可在提供照明光之后的预定时间内连续获取局部图像。