[发明专利]一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置

说明书

本发明公开了一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置，其中，张紧机构包括：压紧机构，用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；多点顶出机构，设置在所述压紧机构下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构上的中心膜片的顶杆组；对位机构，安装在所述压紧机构与多点顶出机构之间，用于对位调节压紧机构和多点顶出机构，所述顶杆组包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆；该张紧机构通过多点顶出机构的顶杆组顶出对中心膜片进行张紧即可完成中心膜片的张紧处理，使得中心膜片达到预定张紧力，具有张紧度可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点。

技术领域

本申请涉及测量仪器技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置。

背景技术

电容薄膜真空计（又称电容薄膜规）是一种全压强真空测量仪器，具有高稳定性、高精度、耐腐蚀性等优点，广泛应用在航天航空、核工业、半导体装备等重要领域。

电容薄膜规主要是根据弹性元件（中心膜片）在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成。电容薄膜规的关键部件是中心膜片，中心膜片的力学性能直接关系到真空计测量的准确性和工作性能。

中心膜片的关键技术在于膜片材料、膜片的张紧、膜片的焊接。当膜片材料确定之后，中心膜片在焊接到基座上之前需要用张紧工装进行张紧，只有中心膜片达到预定张紧力才能达到最好的焊接效果和工作状态。

传统的膜片张紧焊接工装如附图1所示。其主要过程是在压紧螺钉的作用下，上下压紧圈将膜片夹紧，然后旋转体旋转向下运动，带动张紧圈压向膜片，从而将膜片张紧。这种张紧装置，结构相对简单，但是效率低并且存在以下几个技术问题：

（1）张紧力受限。这种夹紧和张紧方式，中心膜片仅内侧边缘部分受到张紧圈挤压形变，从而导致接触部分受应力集中比较大，而膜片比较薄，容易在张紧圈外侧区域拉爆膜片，所以，整个张紧装置张紧力有限。

（2）膜片的张力分布不均匀。这种张紧装置的张紧方式只对膜片外侧张紧圈处产生较大的张力，而由于膜片中心区域变形小而对膜片中心区域产生较小的张紧力，最终导致中心膜片各处张力分布不均匀。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧方法及张紧装置，达到张紧力度均匀、有效防止中心膜片张紧时被拉爆的效果。

第一方面，本申请提供了一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，包括：

压紧机构，用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；

多点顶出机构，设置在所述压紧机构下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构上的中心膜片的顶杆组；

对位机构，安装在所述压紧机构与多点顶出机构之间，用于对位调节压紧机构和多点顶出机构；

所述顶杆组包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆。

本申请实施例的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构,通过多点顶出机构的顶杆组顶出对中心膜片进行张紧即可完成中心膜片的张紧处理，使得中心膜片达到预定张紧力，以便能达到最好的焊接效果和工作状态；另外，采用顶杆组结构对中心膜片进行张紧处理，使得中心膜片仅受到顶杆组顶出方向的作用力，可有效避免中心膜片张紧时被拉爆。

所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其中，所述压紧机构包括上压紧圈和用于与所述上压紧圈配合压紧所述中心膜片外周的下压紧圈，所述下压紧圈中部设有供顶杆组通过的张紧孔。

所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其中，若干所述顶杆为多重圆环均匀分布。

第二方面，本申请还提供了一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，其特征在于，包括：