[发明专利]一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置

权利要求书

1.一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，其特征在于，包括：

压紧机构（1），用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；

多点顶出机构（2），设置在所述压紧机构（1）下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构（1）上的中心膜片的顶杆组（21）；

对位机构（3），安装在所述压紧机构（1）与多点顶出机构（2）之间，用于对位调节压紧机构（1）和多点顶出机构（2）；

仿真模块，用于仿真计算中心膜片需求的顶杆组（21）的仿真顶出信息；

液压模块，用于驱动所述顶杆组（21）伸出进行中心膜片张紧；

主控模块，用于根据所述仿真顶出信息控制液压模块输出驱动所述顶杆组（21）伸出进行中心膜片张紧，并在中心膜片处于张紧状态下控制液压模块保持液压而对中心膜片进行保压定型处理；

所述顶杆组（21）包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆。

2.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，所述压紧机构（1）包括上压紧圈（11）和用于与所述上压紧圈（11）配合压紧所述中心膜片外周的下压紧圈（12），所述下压紧圈（12）中部设有供顶杆组（21）通过的张紧孔（121）。

3.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，若干所述顶杆为多重圆环均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，还包括在线测量模块，用于在线测量顶杆组（21）的实际顶出信息；所述主控模块基于实际顶出信息和仿真顶出信息校正液压模块输出情况。

5.根据权利要求4所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，还包括溢流模块，用于对液压模块进行溢流处理，当所述实际顶出信息超过所述仿真顶出信息时，所述主控模块控制溢流模块对所述液压模块进行溢流处理而使所述实际顶出信息与所述仿真顶出信息一致。

6.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，所述仿真顶出信息包括顶出距离信息和顶出速度信息。

7.一种基于权利要求1-6任一项所述的电容薄膜真空计膜片张紧机构的中心膜片张紧方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、获取仿真计算出的中心膜片需求的顶杆组（21）的仿真顶出信息；

S2、基于所述仿真顶出信息控制所述多点顶出机构（2）张紧中心膜片；

S3、在中心膜片处于张紧状态下控制多点顶出机构（2）保持位置而对中心膜片进行保压定型处理。

8.一种基于权利要求1-6任一项所述的电容薄膜真空计膜片张紧机构的中心膜片张紧装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取仿真计算出的中心膜片需求的顶杆组（21）的仿真顶出信息；

发送模块，基于获取模块获取的仿真顶出信息发出液压控制信息以驱动多点顶出机构（2）张紧中心膜片；

保持模块，在中心膜片处于张紧状态下发出保持信息控制多点顶出机构（2）保持位置而对中心膜片进行保压定型处理。