[发明专利]MEMS扬声器

说明书

本发明提供了一种MEMS扬声器，MEMS扬声器包括衬底，衬底具有相对设置的顶壁和底壁，以及自顶壁至底壁贯穿衬底的空腔；耦合件，耦合件包括固定于顶壁的本体部、由本体部向空腔延伸的悬臂梁以及与悬臂梁远离本体部一端连接的质量块；振膜，振膜固定于耦合件远离顶壁一侧并与耦合件共同围合形成振动面，振动面沿振膜的振动方向封闭空腔；驱动器，驱动器固定于耦合件并驱动振动面振动发声。该MEMS扬声器中振膜与耦合件共同围合形成振动面，并通过固定于耦合件的驱动器直接驱动振动发声，能够获得更好的发声效果，此外，通过调节质量块的高度以及质量，可以调节扬声器的一阶谐振，灵活的调整扬声器的发声效果。

【技术领域】

本发明涉及声电转换技术领域，尤其涉及一种MEMS扬声器。

【背景技术】

扬声器作为手机等移动终端的主要元器件之一，其主要将电信号转换成声音信号。

MEMS扬声器（Micro-Electro-Mechanical System），即微电机系统扬声器，其相对传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势，现有的MEMS扬声器中的振膜与驱动器的设计不合理，导致MEMS扬声器的发声性能差。

因此，有要提供一种改善上述问题的MEMS扬声器。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种发声性能好的MEMS扬声器。

为了达到上述目的，本发明提供了一种MEMS扬声器，包括：衬底，所述衬底具有相对设置的顶壁和底壁、自所述顶壁至所述底壁贯穿所述衬底的空腔；耦合件，所述耦合件包括固定于所述顶壁的本体部、由所述本体部向所述空腔延伸的悬臂梁以及与所述悬臂梁远离所述本体部一端连接的质量块；振膜，所述振膜固定于所述耦合件远离所述顶壁一侧并与所述耦合件共同围合形成振动面，所述振动面沿所述振膜的振动方向封闭所述空腔；驱动器，所述驱动器固定于所述耦合件并驱动所述振动面振动发声；其中，所述悬臂梁包括多个，所述耦合件还包括自所述悬臂梁远离所述本体部的一端延伸的连接部，所述质量块通过所述连接部与所述悬臂梁连接，多个所述悬臂梁通过所述连接部共同悬置所述质量块，所述振膜包括固定于所述连接部的第一固定部、固定于所述本体部的第二固定部以及连接所述第一固定部和所述第二固定部的折环部，所述折环部朝向远离所述耦合件的方向弯折，所述质量块设有贯穿其上的内腔，每个所述驱动器包括间隔设置的外驱动器以及内驱动器，每个所述外驱动器固定于对应的所述多个悬臂梁远离所述空腔的一侧，每个所述内驱动器固定于所述连接部。

优选地，所述第一固定部包括固定于所述连接部的第一弯折部、由所述第一弯折部向远离所述连接部延伸的第二弯折部、由所述第二弯折部向靠近所述第二固定部延伸的第三弯折部；所述第二固定部包括固定于所述本体部的第四弯折部、由所述第四弯折部向远离所述耦合件延伸的第五弯折部、由所述第五弯折部向靠近所述第三弯折部延伸的第六弯折部；所述第六弯折部与所述第三弯折部间隔设置，所述折环部的一侧与所述第三弯折部连接，另一侧与所述第六弯折部连接。

优选地，所述质量块包括加强框架和加强骨架，所述加强骨架位于所述加强框架内且与所述加强框架连接。

优选地，每个所述悬臂梁包括间隔设置的外悬臂梁与内悬臂梁，所述连接部包括外连接部与内连接部，每个所述外悬臂梁一端与所述本体部连接，另一端与所述外连接部连接，每个所述内悬臂梁的一端与所述外连接部远离所述外悬臂梁一端连接，另一端与所述内连接部连接。

优选地，所述质量块包括外质量块与内质量块，所述外质量块与所述外连接部连接，所述内质量块与所述内连接部连接，所述外质量块与内质量块间隔设置。

优选地，所述驱动器包括外驱动器以及内驱动器，所述外驱动器固定于对应的所述外悬臂梁远离所述空腔的一侧，所述内驱动器固定于对应的所述内悬臂梁远离所述空腔的一侧。