[发明专利]MEMS扬声器

权利要求书

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底具有相对设置的顶壁和底壁，以及自所述顶壁至所述底壁贯穿所述衬底的空腔；

耦合件，所述耦合件包括固定于所述顶壁的本体部、由所述本体部向所述空腔延伸的悬臂梁以及与所述悬臂梁远离所述本体部一端连接的质量块；

振膜，所述振膜固定于所述耦合件远离所述顶壁一侧并与所述耦合件共同围合形成振动面，所述振动面沿所述振膜的振动方向封闭所述空腔；

驱动器，所述驱动器固定于所述耦合件并驱动所述振动面振动发声；

其中，所述悬臂梁包括多个，所述耦合件还包括自所述悬臂梁远离所述本体部的一端延伸的连接部，所述质量块通过所述连接部与所述悬臂梁连接，多个所述悬臂梁通过所述连接部共同悬置所述质量块，所述振膜包括固定于所述连接部的第一固定部、固定于所述本体部的第二固定部以及连接所述第一固定部和所述第二固定部的折环部，所述折环部朝向远离所述耦合件的方向弯折，所述质量块设有贯穿其上的内腔，每个所述驱动器包括间隔设置的外驱动器以及内驱动器，每个所述外驱动器固定于对应的所述多个悬臂梁远离所述空腔的一侧，每个所述内驱动器固定于所述连接部。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一固定部包括固定于所述连接部的第一弯折部、由所述第一弯折部向远离所述连接部延伸的第二弯折部、由所述第二弯折部向靠近所述第二固定部延伸的第三弯折部；所述第二固定部包括固定于所述本体部的第四弯折部、由所述第四弯折部向远离所述耦合件延伸的第五弯折部、由所述第五弯折部向靠近所述第三弯折部延伸的第六弯折部；所述第六弯折部与所述第三弯折部间隔设置，所述折环部的一侧与所述第三弯折部连接，另一侧与所述第六弯折部连接。

3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述质量块包括加强框架和加强骨架，所述加强骨架位于所述加强框架内且与所述加强框架连接。

4.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，每个所述悬臂梁包括间隔设置的外悬臂梁与内悬臂梁，所述连接部包括外连接部与内连接部，每个所述外悬臂梁一端与所述本体部连接，另一端与所述外连接部连接，每个所述内悬臂梁的一端与所述外连接部远离所述外悬臂梁一端连接，另一端与所述内连接部连接。

5.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述质量块包括外质量块与内质量块，所述外质量块与所述外连接部连接，所述内质量块与所述内连接部连接，所述外质量块与内质量块间隔设置。

6.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动器包括外驱动器以及内驱动器，所述外驱动器固定于对应的所述外悬臂梁远离所述空腔的一侧，所述内驱动器固定于对应的所述内悬臂梁远离所述空腔的一侧。

7.根据权利要求6所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振膜包括外振膜以及与所述外振膜连接的内振膜，所述外振膜固定于所述本体部与所述外连接部，所述内振膜固定于所述外连接部与所述内连接部。