[发明专利]电源组件、等离子体浸没离子注入设备及其使用方法

权利要求书

1.一种等离子体浸没离子注入设备的电源组件，其特征在于，所述电源组件包括壳体、第一电源、第二电源和输出接口，其中：

所述第一电源和所述第二电源集成设置于所述壳体内，所述输出接口设置于所述壳体上；所述第一电源与所述输出接口连接，所述第二电源与所述输出接口连接；

所述第一电源用于输出第一直流电压信号，所述第二电源用于输出脉冲电压信号，所述输出接口用于输出所述第一直流电压信号、所述脉冲电压信号或叠加信号，所述叠加信号由所述第一直流电压信号和所述脉冲电压信号叠加形成；

所述电源组件设置于工艺腔室外，所述电源组件通过所述输出接口与位于所述工艺腔室内的静电卡盘连接。

2.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括控制模块，所述控制模块设置于所述壳体内，所述控制模块分别与所述第一电源和所述第二电源连接，所述控制模块用于控制所述第一电源输出的所述第一直流电压信号的参数和所述第二电源输出的所述脉冲电压信号的参数。

3.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括滤波模块，所述滤波模块连接在所述第一电源与所述输出接口之间，所述滤波模块用于衰减通向所述第一电源的所述脉冲电压信号。

4.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括隔直模块，所述隔直模块连接在所述第二电源与所述输出接口之间，所述隔直模块用于隔绝所述第一直流电压信号通向所述第二电源。

5.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括三相整流模块，所述第一电源和所述第二电源均与所述三相整流模块连接，所述三相整流模块用于将外部输入的交流电整流为直流电并输送给所述第一电源和所述第二电源。

6.根据权利要求2所述的电源组件，其特征在于，所述电源组件还包括通信接口，所述通信接口安装于所述壳体上，且所述通信接口与所述控制模块连接，所述控制模块通过所述通信接口接收外部指令。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电源组件，其特征在于，所述第二电源包括直流电源模块和直流脉冲模块，所述直流电源模块与所述直流脉冲模块连接，所述直流脉冲模块与所述输出接口连接，所述直流电源模块用于输出第二直流电压信号，所述直流脉冲模块用于将所述第二直流电压信号转化为所述脉冲电压信号。

8.根据权利要求1所述的电源组件，其特征在于，所述第一直流电压信号的电压值为-1.5Kv～1.5Kv，所述脉冲电压信号的电压值为-5Kv～-500v。

9.一种等离子体浸没离子注入设备，其特征在于，包括工艺腔室、静电卡盘以及前述权利要求1至8中任一项所述的电源组件，所述静电卡盘设置于所述工艺腔室内，所述电源组件通过所述输出接口与所述静电卡盘连接。