[发明专利]一种光电子抑制电离源装置有效

专利信息
申请号: 202110992538.5 申请日: 2021-08-27
公开(公告)号: CN113808909B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 李海洋;曹艺雪;陈平;文宇轩;陈懿 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/16 分类号: H01J49/16;H01J49/06
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 光电子 抑制 电离 装置
【权利要求书】:

1.一种光电子抑制电离源装置,其特征在于,包括由上至下依次设置的紫外光源(1)、顶部传输电极、多极杆电极(7)及改性出口电极(9),其中顶部传输电极和改性出口电极(9)的轴向开有通孔;紫外光源(1)设置于顶部传输电极的顶部通孔处,用于向电离区照射紫外光;

顶部传输电极的上端设有顶盖电极挡光绝缘垫(2),顶盖电极挡光绝缘垫(2)用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对顶部传输电极的辐照;

顶部传输电极和多极杆电极(7)之间设有多极杆电极上绝缘垫(6);

多极杆电极(7)和改性出口电极(9)之间设有多极杆电极下绝缘垫(8),多极杆电极下绝缘垫(8)用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对改性出口电极(9)的辐照。

2.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆电极(7)为多个且沿周向设置。

3.根据权利要求2所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆电极(7)包括多极杆金属连接件(11)、多极杆金属中间连接件(12)及改性电极杆(13),其中多极杆金属连接件(11)为两个,且分别设置改性电极杆(13)的两端;所述多极杆金属中间连接件(12)设置于改性电极杆(13)的中部。

4.根据权利要求3所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆金属连接件(11)和所述多极杆金属中间连接件(12)均位于所述改性电极杆(13)远离电离区的一侧。

5.根据权利要求3所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,两个所述多极杆金属连接件(11)上施加直流电压;所述多极杆金属中间连接件(12)上施加射频电压,实现离子的聚焦传输。

6.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述传输电极包括均开有通孔且同轴设置的顶盖电极(3)和入口电极(5);

所述紫外光源(1)设置于顶盖电极(3)的上方,顶盖电极(3)和入口电极(5)之间设有入口电极绝缘垫(4),入口电极绝缘垫(4)用于阻挡所述紫外光源(1)的紫外光对入口电极(5)的辐照;

所述顶盖电极(3)和所述入口电极(5)上施加有直流传输电压。

7.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)、多极杆电极上绝缘垫(6)及多极杆电极下绝缘垫(8)均为环形结构,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)的内孔直径小于所述顶盖电极(3)上的通孔直径;所述入口电极绝缘垫(4)的内孔直径小于入口电极(5)上的通孔直径;所述多极杆电极下绝缘垫(8)的内孔直径小于所述改性出口电极(9)的通孔直径。

8.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)、多极杆电极上绝缘垫(6)及多极杆电极下绝缘垫(8)均采用PEEK绝缘垫。

9.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)的顶部设有凹槽,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)容置于该凹槽内。

10.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)上设有进样毛细管(10),所述进样毛细管(10)的进样端位于所述传输电极内侧的电离区内。

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