[发明专利]一种光电子抑制电离源装置有效
| 申请号: | 202110992538.5 | 申请日: | 2021-08-27 |
| 公开(公告)号: | CN113808909B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
| 发明(设计)人: | 李海洋;曹艺雪;陈平;文宇轩;陈懿 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号: | H01J49/16 | 分类号: | H01J49/16;H01J49/06 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 何丽英 |
| 地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光电子 抑制 电离 装置 | ||
1.一种光电子抑制电离源装置,其特征在于,包括由上至下依次设置的紫外光源(1)、顶部传输电极、多极杆电极(7)及改性出口电极(9),其中顶部传输电极和改性出口电极(9)的轴向开有通孔;紫外光源(1)设置于顶部传输电极的顶部通孔处,用于向电离区照射紫外光;
顶部传输电极的上端设有顶盖电极挡光绝缘垫(2),顶盖电极挡光绝缘垫(2)用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对顶部传输电极的辐照;
顶部传输电极和多极杆电极(7)之间设有多极杆电极上绝缘垫(6);
多极杆电极(7)和改性出口电极(9)之间设有多极杆电极下绝缘垫(8),多极杆电极下绝缘垫(8)用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对改性出口电极(9)的辐照。
2.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆电极(7)为多个且沿周向设置。
3.根据权利要求2所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆电极(7)包括多极杆金属连接件(11)、多极杆金属中间连接件(12)及改性电极杆(13),其中多极杆金属连接件(11)为两个,且分别设置改性电极杆(13)的两端;所述多极杆金属中间连接件(12)设置于改性电极杆(13)的中部。
4.根据权利要求3所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述多极杆金属连接件(11)和所述多极杆金属中间连接件(12)均位于所述改性电极杆(13)远离电离区的一侧。
5.根据权利要求3所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,两个所述多极杆金属连接件(11)上施加直流电压;所述多极杆金属中间连接件(12)上施加射频电压,实现离子的聚焦传输。
6.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述传输电极包括均开有通孔且同轴设置的顶盖电极(3)和入口电极(5);
所述紫外光源(1)设置于顶盖电极(3)的上方,顶盖电极(3)和入口电极(5)之间设有入口电极绝缘垫(4),入口电极绝缘垫(4)用于阻挡所述紫外光源(1)的紫外光对入口电极(5)的辐照;
所述顶盖电极(3)和所述入口电极(5)上施加有直流传输电压。
7.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)、多极杆电极上绝缘垫(6)及多极杆电极下绝缘垫(8)均为环形结构,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)的内孔直径小于所述顶盖电极(3)上的通孔直径;所述入口电极绝缘垫(4)的内孔直径小于入口电极(5)上的通孔直径;所述多极杆电极下绝缘垫(8)的内孔直径小于所述改性出口电极(9)的通孔直径。
8.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)、多极杆电极上绝缘垫(6)及多极杆电极下绝缘垫(8)均采用PEEK绝缘垫。
9.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)的顶部设有凹槽,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)容置于该凹槽内。
10.根据权利要求6所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)上设有进样毛细管(10),所述进样毛细管(10)的进样端位于所述传输电极内侧的电离区内。
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