[发明专利]一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法

说明书

本发明公开了一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法，包括：自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；智能调节电磁悬浮分系统，用于调节芯片检测平台的高度，调节芯片检测平台的水平位移，限制芯片检测平台的极限位置；智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

技术领域

本发明涉及芯片检测防震动领域，更具体地说，本发明涉及一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法。

背景技术

芯片检测平台对于防震动要求非常高，任何微小的震动都可能影响检测，而任何接触都会传导外界震动；如何使芯片检测平台进行非接触以及稳定状态现阶段尚未解决；防震动稳定平衡仍需要改进、仍有很多技术点需要解决；如何使芯片检测平台在水平方向平衡无接触调节；如何稳定无接触调节电磁悬浮点调节芯片检测平台的高度、如何无震动调节芯片检测平台的水平位移以及如何无接触调节芯片检测平台的倾转角度都是需要解决的技术问题；因此，有必要提出一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

为至少部分地解决上述问题，本发明提供了一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，包括：

自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

优选的，自调节电磁悬浮点分系统包括：电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。