[发明专利]一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法

权利要求书

1.一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，包括：

自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；

自调节电磁悬浮点分系统包括：

电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；

电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；

电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节；

电磁悬浮点排斥力计算公式如下：

其中，𝐾𝑛𝑠为电磁悬浮点使芯片检测平台悬浮的总排斥力，𝑀𝑓𝑝为电磁悬浮点个数，𝐼𝑧𝑠为电磁悬浮点电流，𝐻𝑐d为电磁悬浮点磁芯高度，电磁悬浮点磁芯感应磁通，𝑄𝑧𝑠为电磁悬浮点磁感应线圈数，𝐺𝑐为电磁悬浮点磁通面积分量，𝐺1为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最小值，𝐺2为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最大值；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，平衡电磁斥力点分系统包括：

电磁斥力点分布子系统，用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；

电磁斥力点构件子系统，用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；

电磁斥力点调节子系统，用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。