[发明专利]梯度结构的合金涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110973491.8 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113652639B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王祖文;宋明普 | 申请（专利权）人： | 株洲索尔切削工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 长沙伊柏专利代理事务所(普通合伙) 43265 | 代理人： | 周正雄 |
| 地址： | 412200 湖南省株洲市天*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 梯度 结构 合金 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种梯度结构的合金涂层，其技术特征在于，该涂层包含2-3组多层结构，所述的多层结构由内向外依次为TiAlYN层、TiZrN层和TiSiN层；
所述的TiAlYN层、TiZrN层和TiSiN层厚度比例为0.3-0.5:0.5-0.8:1；
TiAlYN层为0.2-0.4μm，TiZrN层为0.4-0.5μm，TiSiN层为0.6-0.8μm；
TiAlYN层中，Ti:Al:Y的原子比例为1:1-2:0.5-0.8；
TiZrN层中，Ti:Zr的原子比例为1:0.6-2；
TiSiN层中，Ti:Si的原子比例为1:1-2；
所述的合金涂层沉积在硬质合金表面。
2.根据权利要求1中所述的合金涂层，其技术特征在于，所述的硬质合金为WC-Co合金，或进一步包含其他金属元素的WC-Co合金。
3.根据权利要求2中所述的合金涂层，其技术特征在于，所述的其他金属元素包含Cr、V、Ni、Y中的一种或多种。
4.根据权利要求1-3中任一项所述合金涂层的制备方法，其技术特征在于，包括如下步骤：
（1）硬质合金表面清洗，硬质合金使用丙酮浸泡后超声清洗，然后用氩离子轰击刻蚀，对硬质合金表面进行活化；
（2）通入氮气，用阴极电弧离子镀技术在硬质合金表面沉积涂层，依次开启TiAlYN靶、TiZrN靶和TiSiN靶，将涂层沉积到硬质合金表面；上述沉积的步骤重复2-3次；
（3）真空下自然冷却，得到一种梯度结构的合金涂层。
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