[发明专利]辐射设备及其操作方法、计算机程序产品和物体固持器

说明书

本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器能够布置在粒子辐射设备中。根据本发明的方法包括以下步骤：使用激光射束装置的激光射束和/或利用粒子辐射设备的粒子射束在物体固持器上产生标记，其中，粒子射束具有带电粒子；将物体布置在物体固持器上；使物体固持器运动；使用标记相对于物体相对定位粒子射束和/或激光射束；以及利用粒子射束和/或激光射束处理、成像和/或分析物体。

技术领域

本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器可以布置在粒子辐射设备中。

背景技术

电子辐射设备、尤其扫描电子显微镜(以下也称为SEM)和/或透射电子显微镜(以下也称为TEM)用于研究物体(样本)，以获得在特定条件下的特性和行为方面的认知。

在SEM的情况下，借助于射束发生器来产生电子射束(以下也称为初级电子射束)并且通过射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。借助于偏转装置以扫描方式在待研究的物体的表面上引导初级电子射束。初级电子射束的电子在此与待研究的物体进行相互作用。作为相互作用的结果，尤其从物体发射电子(所谓的次级电子)并且将初级电子射束的电子返回散射(所谓的返回散射电子)。检测次级电子和返回散射电子并将其用于产生图像。由此获得待研究物体的成像。此外，作为相互作用的结果，产生了相互作用辐射，例如X射线辐射和阴极发光。相互作用辐射尤其用于分析物体。

在TEM的情况下，同样借助于射束发生器来产生初级电子射束并且借助于射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。初级电子射束透射待研究的物体。在初级电子射束穿过待研究的物体时，初级电子射束的电子与待研究的物体的材料进行相互作用。穿透待研究的物体的电子通过由物镜和透射透镜(Projektiv)组成的系统在光屏上或在检测器(例如摄影机)上成像。在此成像还可以在TEM的扫描模式下进行。这种TEM一般称为STEM。另外可以提出，在待研究的物体处借助于另外的检测器来检测返回散射的电子和/或由待研究的物体发射的次级电子，以便将待研究的物体成像。

此外，从现有技术中已知，将组合设备用于研究物体，其中，不仅可以将电子而且还可以将离子引导到待研究的物体上。例如已知的是，使SEM额外地配备离子辐射柱。借助于布置在离子辐射柱中的离子射束发生器来产生离子，这些离子用于制备物体(例如削磨物体的材料或将材料施加到物体上)或者还用于成像。SEM在此尤其用于观察制备过程，但是也用于进一步研究所制备的或未制备的物体。

在另外的已知的粒子辐射设备中、例如在使用气体输送的情况下将材料施加到物体上。已知的粒子辐射设备是提供电子射束和离子射束的组合设备。粒子辐射设备包括电子辐射柱和离子辐射柱。电子辐射柱提供聚焦到物体上的电子射束。物体布置在保持处于真空的样本室中。离子辐射柱提供也聚焦在物体上的离子射束。借助于离子射束，例如移除物体的表面的层。在移除这个层之后，物体的另外的表面露出。借助气体输入装置可以将气态的前体物质(所谓的前体)放入到样本室中。已知的是，气体输入装置构造有针状装置，该针状装置可以布置在距离物体的位置几μm的非常近处，从而气态的前体物质可以尽可能精确地并且以高浓度被引导到该位置上。通过离子射束与气态前体物质的相互作用，在物体的表面上沉积物质层。例如，已知气态菲被作为气态前体物质通过气体输入装置引入到样本室中。然后，在所述物体的表面上基本上沉积碳层或包含碳的层。还已知的是，使用具有金属的气态前体物质，以在物体的表面上沉积金属或包含金属的层。然而，沉积物不限于碳和/或金属。而是，可以在物体的表面上沉积任何物质，例如半导体、非导体或其他化合物。此外，已知气态前体物质在与粒子射束相互作用时用于削磨物体的材料。

将材料施加到物体和/或从物体削磨材料例如用于在物体上布置标记。在现有技术中，例如标记用于定位电子射束和/或离子射束。