[发明专利]辐射设备及其操作方法、计算机程序产品和物体固持器

权利要求书

1.一种用于操作辐射设备(100，200，400)、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法，该方法具有以下步骤：

-使用激光射束装置(700)的激光射束和/或粒子辐射设备(100，200，400)的粒子射束在物体固持器(114)上产生至少一个标记(705)，其中，该粒子射束具有带电粒子；

-将至少一个物体(125，425)布置在该物体固持器(114)上；

-使该物体固持器(114)运动，其中，该物体固持器(114)的运动包括该物体固持器(114)的沿着至少一条轴线(x轴，y轴，z轴)的平移运动和/或该物体固持器(114)的围绕至少一条旋转轴线(603，607)的旋转；

-使用该标记(705)相对于该物体(125，425)相对定位该粒子射束和/或该激光射束；以及

-利用该粒子射束和/或该激光射束处理、成像和/或分析该物体(125，425)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，使用适合于输送具有透射穿过该物体(125，425)的粒子的检查粒子射束的物体固持器作为该物体固持器(114)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在将该物体(125，425)布置在该物体固持器(114)上之前，借助于该粒子射束和/或该激光射束产生该物体(125，425)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，

-将该物体(125，425)布置在该物体固持器(114)上，使得该物体(125，425)的面(707)相对于该物体固持器(114，701)的对于该粒子射束和/或对于该激光射束可自由接近的面(706)成0°至360°的角度布置，并且其中，

-在该物体固持器(114，701)的面上产生该标记(705)。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，该方法具有以下特征中的特征：

(i)该物体(125，425)的面(707)平行于该物体固持器(114，701)的对于该粒子射束和/或对于该激光射束可自由接近的面(706)布置；

(ii)该物体(125，425)的面(707)相对于该物体固持器(114，701)的对于该粒子射束和/或对于该激光射束可自由接近的面(706)成5°至80°的角度布置。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中，在该物体固持器(114)的面上产生该标记(705)之前，使用该粒子射束和/或该激光射束产生该物体固持器(114)的面(706)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，对于该粒子射束和/或该激光射束的相对定位，实施以下步骤：

-通过使用该粒子射束对该标记(705)成像，产生具有该标记(705)的参考图像；

-通过使用该粒子射束重新对该标记(705)成像，产生具有该标记(705)的另外的图像；

-将具有该标记(705)的该参考图像与具有该标记(705)的该另外的图像进行比较；

-在使用具有该标记(705)的该参考图像与具有该标记(705)的该另外的图像的比较的情况下确定位移向量，其中，在使用该位移向量的情况下进行该粒子射束和/或该激光射束的相对定位。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，该方法具有以下特征中的特征：

(i)该粒子射束具有可预先给定的射束流，其中，不仅产生具有该标记(705)的另外的图像而且处理、成像和/或分析该物体(125，425)在使用具有可预先给定的射束流的粒子射束的情况下进行；

(ii)该粒子射束具有可预先给定的射束流，其中，产生具有该标记(705)的参考图像、产生具有该标记(705)的另外的图像、以及处理、成像和/或分析所述物体(125，425)在使用具有可预先给定的射束流的粒子射束的情况下进行。