[发明专利]一种电子束蒸发台多功能观察窗

说明书

本发明公开了一种电子束蒸发台多功能观察窗，属于电子束蒸发台观察窗技术领域，包括圆型遮板和矩形通口，所述矩形通口开设在所述圆型遮板上且所述矩形通口对角线交点位于所述圆型遮板圆心处，所述圆型遮板的一侧且位于所述矩形通口两边部处分别安装有第一中空条型侧架和第二中空条型侧架，通过启动旋转驱动组件可以调节上反光镜支架和下反光镜支架的角度以便于进行观察，通过清理杆驱动组件驱动清理杆组件可以清理上反光镜支架和下反光镜支架上的反光镜上的金属粒，并通过金属粒收集组件进行收集。

技术领域

本发明涉及一种电子束蒸发台观察窗，特别是涉及一种电子束蒸发台多功能观察窗，属于电子束蒸发台观察窗技术领域。

背景技术

金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程，半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。

在一个高真空腔体内蒸镀金属膜，工艺腔体要安装一套电子枪，4个坩埚旋转机构蒸镀不同金属，2套加热灯，1套行星盘装置的固定安装，冷却水管路等等。

现在客户对设备的产能要求也比较高，所以在有限的腔体空间内，合理优化出合适的空间，又能满足工艺要求，产能要求，维护还方便，是对腔体的设计提出大的挑战。

工艺腔体的大小，决定了设备的总尺寸，过于庞大的设备会占用半导体加工厂房的面积，洁净级别的厂房建设费用是非常高昂的。

目前在市场上的电子束蒸发台主要是日本ULVAC和美国CHA MARK50等进口品牌，它们的设备腔体设计方式都偏于庞大和载片少的问题，为此设计一种电子束蒸发台多功能观察窗来解决上述问题。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种电子束蒸发台多功能观察窗，在观察窗的玻璃前端按照一个同样直径的圆型遮板，在上反光镜支架和下反光镜支架上放置反光镜，通过启动升降驱动组件可带动两组主调节滑块的调节，通过两组主调节滑块的调节带动上反光镜支架和下反光镜支架在垂直方向进行反向运动调节至合适位置，通过启动旋转驱动组件可以调节上反光镜支架和下反光镜支架的角度以便于进行观察，通过清理杆驱动组件驱动清理杆组件可以清理上反光镜支架和下反光镜支架上的反光镜上的金属粒，并通过金属粒收集组件进行收集。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种电子束蒸发台多功能观察窗，包括圆型遮板和矩形通口，所述矩形通口开设在所述圆型遮板上且所述矩形通口对角线交点位于所述圆型遮板圆心处，所述圆型遮板的一侧且位于所述矩形通口两边部处分别安装有第一中空条型侧架和第二中空条型侧架，所述第二中空条型侧架的顶部贯穿设有升降驱动组件，所述第二中空条型侧架的内侧设有可被所述升降驱动组件驱动升降的两组主调节滑块，且两组主调节滑块分别位于所述第二中空条型侧架内侧的上方和下方处，所述第一中空条型侧架的内侧设有与主调节滑块对应配合的辅限位滑块组件，所述辅限位滑块组件与对应的主调节滑块之间分别设有上反光镜支架和下反光镜支架，所述主调节滑块的外侧设有可驱动所述上反光镜支架和下反光镜支架进行角度调节的旋转驱动组件，所述上反光镜支架和下反光镜支架上开设有一侧开口的放置槽，且在所述放置槽内放置有反光镜，所述上反光镜支架和下反光镜支架的一侧端部皆设有清理杆驱动组件，且所述清理杆驱动组件上设有贯穿所述上反光镜支架和下反光镜支架侧部位于反光镜上的清理杆组件，所述上反光镜支架和下反光镜支架的侧边部设有金属粒收集组件。

优选的，所述升降驱动组件包括升降调节电机和升降螺杆，所述第二中空条型侧架的顶中部安装有升降调节电机，所述升降调节电机的输出端贯穿所述第二中空条型侧架安装有升降螺杆，所述升降螺杆的外侧啮合有两组主调节滑块，其中所述升降螺杆的上部分和下部分螺纹相反。