[发明专利]一种电子束蒸发台多功能观察窗

权利要求书

1.一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：包括圆型遮板(1)和矩形通口(6)，所述矩形通口(6)开设在所述圆型遮板(1)上且所述矩形通口(6)对角线交点位于所述圆型遮板(1)圆心处，所述圆型遮板(1)的一侧且位于所述矩形通口(6)两边部处分别安装有第一中空条型侧架(3)和第二中空条型侧架(24)，所述第二中空条型侧架(24)的顶部贯穿设有升降驱动组件，所述第二中空条型侧架(24)的内侧设有可被所述升降驱动组件驱动升降的两组主调节滑块(10)，且两组主调节滑块(10)分别位于所述第二中空条型侧架(24)内侧的上方和下方处，所述第一中空条型侧架(3)的内侧设有与主调节滑块(10)对应配合的辅限位滑块组件，所述辅限位滑块组件与对应的主调节滑块(10)之间分别设有上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)，所述主调节滑块(10)的外侧设有可驱动所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)进行角度调节的旋转驱动组件，所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)上开设有一侧开口的放置槽(20)，且在所述放置槽(20)内放置有反光镜，所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)的一侧端部皆设有清理杆驱动组件，且所述清理杆驱动组件上设有贯穿所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)侧部位于反光镜上的清理杆组件，所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)的侧边部设有金属粒收集组件。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：所述升降驱动组件包括升降调节电机(5)和升降螺杆(14)，所述第二中空条型侧架(4)的顶中部安装有升降调节电机(5)，所述升降调节电机(5)的输出端贯穿所述第二中空条型侧架(4)安装有升降螺杆(14)，所述升降螺杆(14)的外侧啮合有两组主调节滑块(10)，其中所述升降螺杆(14)的上部分和下部分螺纹相反。

3.根据权利要求2所述的一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：所述辅限位滑块组件包括限位滑杆(21)和辅助调节滑块(9)，所述第一中空条型侧架(3)的内侧沿所述第一中空条型侧架(3)轴向上安装有限位滑杆(21)，所述限位滑杆(21)的外侧套设有两组辅助调节滑块(9)，且一组辅助调节滑块(9)位于所述限位滑杆(21)上方，另一组辅助调节滑块(9)位于所述限位滑杆(21)下方。

4.根据权利要求3所述的一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：所述旋转驱动组件包括角度调节电机(11)和转杆，所述主调节滑块(10)的外侧边部安装有角度调节电机(11)，所述角度调节电机(11)的输出端贯穿所述主调节滑块(10)安装有转杆，两组转杆和两组辅助调节滑块(9)之间分别安装有上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)。

5.根据权利要求4所述的一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：所述清理杆驱动组件包括侧端固定块(16)、清理电机(12)和清理杆驱动螺杆(13)，所述侧端固定块(16)安装在所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)一侧的端部处，所述侧端固定块(16)的一侧中部安装有清理电机(12)，所述清理电机(12)的输出端安装有贯穿所述侧端固定块(16)的清理杆驱动螺杆(13)，所述清理杆驱动螺杆(13)的外侧啮合有清理杆组件。

6.根据权利要求5所述的一种电子束蒸发台多功能观察窗，其特征在于：所述清理杆组件包括清理杆(18)、清理滑块(17)和清理毛刷，所述清理滑块(17)套设在所述清理杆驱动螺杆(13)的外侧并与所述清理杆驱动螺杆(13)啮合，所述清理滑块(17)的一侧安装有清理杆(18)，且所述清理杆(18)贯穿所述上反光镜支架(7)和下反光镜支架(8)至反光镜顶侧方处。