[发明专利]伸缩式压板机构及具有该结构的曝光机及曝光机压板方法在审
申请号: | 202110950185.2 | 申请日: | 2021-08-18 |
公开(公告)号: | CN113777890A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 廖平强;周川;林垂真;张华;吴越 | 申请(专利权)人: | 杭州新诺微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伸缩 压板 机构 具有 结构 曝光 方法 | ||
本发明属于线路板生产技术领域,尤其涉及一种伸缩式压板机构及具有该结构的曝光机及曝光机压板方法。本发明针对现有技术中压板结构的结构复杂,使用不够方便的问题,提供一种可移动压板结构及具有该结构的曝光机及曝光机压板方法,包括吸盘、第一压板组件、第二压板组件、第三压板组件以及第四压板组件,且第一压板组件和第三压板组件相对设置,第二压板组件和第四压板组件相对设置,第一压板组件、第二压板组件、第三压板组件以及第四压板组件均具有水平运动单元和竖直运动单元。本发明能实现对待曝光的PCB板的四边进行压紧,使其保持较好的平整度,进而提高曝光时的曝光精度,能够适应不同尺寸的PCB板的压紧。
技术领域
本发明属于线路板生产技术领域,尤其涉及一种伸缩式压板机构及具有该结构的曝光机及曝光机压板方法。
背景技术
线路板作为电子元器件电气连接的提供者,在电子设备中的使用变得越来越广泛。例如,PCB线路板进行生产时,通常会使用到线路板曝光机以对线路板进行光处理。为了保证曝光质量,进行曝光处理前,需对线路板进行稳定的定位。这主要由于在PCB内外层的油墨工序、图形形成工序生产加工薄板/小板过程中,前工序的干湿制程加工会使PCB产生不同程度的胀缩和应变,从而造成PCB产生不同程度的翘曲/扭曲/弓曲等变形;同时,若PCB尺寸过小而无法覆盖整个曝光台面时,真空吸板对PCB进行真空吸附的吸附力会不够,也会造成PCB边角翘起;而PCB的翘曲又会导致PCB的曝光焦面无法一致,最终造成PCB曝光不良和缺陷,影响产品品质。传统的定位方式,通过人工加设螺栓或螺母等紧固件以实现对线路板的锁止固定,传统的定位方式不仅工作效率较低,而且无法保证线路板定位的稳定性,从而影响曝光质量。
为了解决现有技术存在的问题,人们进行了长期的探索,提出了各种各样的解决方案,例如中国专利文献公开了一种压板机构及曝光机[申请号:201922502660.0]:压板机构包括:曝光台、位于曝光台一侧的第一压板结构、活动地位于第一压板结构相对侧的第二压板结构;第一压板结构包括:第一压板以及第一动力单元,第一动力单元驱动第一压板对曝光台一侧的边缘施加压紧作用力;第二压板结构包括:第二压板、第二动力单元以及第三动力单元,第二动力单元驱动第二压板朝向曝光台施加压紧作用力,第三动力单元驱动第二压板和第二动力单元相对第一压板结构相向或者相背运动。
又如中国专利文献公开了一种直写光刻机吸盘压板装置[申请号:201910262132.]:包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
上述两种方案在一定程度上缓解了现有PCB线路板定位不便等问题,但是上述方案只压到PCB板的其中两边,剩余两边仍可能存在翘曲、变形等现象,压板效果差。
发明内容
本发明的目的是针对上述问题,提供一种伸缩式压板机构。
本发明另一目的是针对上述问题,提供一种具有伸缩式压板机构的曝光机。
本发明另一目的是针对上述问题,提供一种利用伸缩式压板机构实现的曝光机压板方法。
为达到上述目的,本发明采用了下列技术方案:
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