[发明专利]伸缩式压板机构及具有该结构的曝光机及曝光机压板方法

权利要求书

1.一种伸缩式压板机构，包括吸盘(1)，其特征在于，所述的吸盘(1)周向侧边依次设有第一压板组件(2)、第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)，且第一压板组件(2)和第三压板组件(4)相对设置，第二压板组件(3)和第四压板组件(5)相对设置，所述的第一压板组件(2)、第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)均具有水平运动单元和竖直运动单元，且在水平运动单元作用下第一压板组件(2)和第三压板组件(4)相对位移以及第二压板组件(3)和第四压板组件(5)相对位移，且在竖直运动单元作用下的第一压板组件(2)、第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)相对于吸盘(1)竖直升降。

2.如权利要求1所述的伸缩式压板机构，其特征在于，所述的水平运动单元为短行程水平运动机构，竖直运动单元为短行程竖直运动机构，且所述的第一压板组件(2)、第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)中至少一个具有长行程水平运动机构。

3.如权利要求1所述的伸缩式压板机构，其特征在于，所述的第一压板组件(2)、第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)中至少一个具有压杆伸缩机构(54)。

4.如权利要求1所述的伸缩式压板机构，其特征在于，所述的吸盘(1)呈矩形，且所述的第一压板组件(2)和第三压板组件(4)对应设置在吸盘(1)的两个短侧边(11)，且所述的第二压板组件(3)和第四压板组件(5)对应设置在吸盘(1)的长侧边(12)，且所述的第二压板组件(3)、第三压板组件(4)以及第四压板组件(5)中任意一个具有长行程水平运动机构，且第二压板组件(3)和/或第四压板组件(5)具有压杆伸缩机构(54)。

5.如权利要求4所述的伸缩式压板机构，其特征在于，所述的第一压板组件(2)包括沿吸盘(1)宽度方向横向延伸设置在吸盘(1)短侧边(11)的第一压杆(21)，所述的第一压杆(21)两端分别安装于位于吸盘(1)两个长侧边(12)端部的第一竖直运动单元(22)上端，且所述的第一竖直运动单元(22)连接有能带动第一竖直运动单元(22)沿吸盘(1)长侧边(12)水平滑动的第一水平运动单元(23)相连。

6.如权利要求5所述的伸缩式压板机构，其特征在于，所述的第二压板组件(3)包括沿吸盘(1)的其中一个长侧边(12)轴向延伸的第一长行程导轨(31)，所述的第一长行程导轨(31)上滑动设有第一滑动座(32)，所述的第一滑动座(32)上设有能使第一滑动座(32)相对于第一长行程导轨(31)定位的第一手动锁紧旋钮(33)，在吸盘(1)的长侧边(12)设有轴向延伸的第二压杆(34)，所述的第二压杆(34)设置在第二竖直运动单元(35)上端，且所述的第二竖直运动单元(35)连接有能带动第二竖直运动单元(35)朝向远离或靠近吸盘(1)方向水平运动的第二水平运动单元(36)，且所述的第二水平运动单元(36)安装于第一滑动座(32)上。