[发明专利]一种大容积人造石英晶体高压釜在审
| 申请号: | 202110944307.7 | 申请日: | 2021-08-17 |
| 公开(公告)号: | CN113477184A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
| 发明(设计)人: | 尹利君;张璇;刘巨澜;张绍锋 | 申请(专利权)人: | 烁光特晶科技有限公司 |
| 主分类号: | B01J3/06 | 分类号: | B01J3/06 |
| 代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 肖莎 |
| 地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 容积 人造 石英 晶体 高压 | ||
1.一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,包括:
釜体(1),所述釜体(1)内开设有反应腔(10),且所述釜体(1)的顶端和底端均为接通所述反应腔(10)的开口端,同时所述反应腔(10)的内径为600至800mm、长度为12至18m、长径比为18至23;
釜盖(2),所述釜盖(2)覆盖所述釜体(1)顶端的开口,并通过环形密封件(3)密封连接在所述釜体(1)的顶端;
环形卡箍(4),所述环形卡箍(4)的位置对应所述釜体(1)顶端与所述釜盖(2)的连接处,且所述环形卡箍(4)分别卡接所述釜体(1)与所述釜盖(2)的外壁;
布里奇曼自紧式密封结构(5),所述布里奇曼自紧式密封结构(5)靠近所述釜体(1)底端的开口密封连接在所述反应腔(10)内。
2.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,所述反应腔(10)内设计压力为100-180MPa,设计温度为380-420℃。
3.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,所述釜盖(2)的外壁靠近所述釜体(1)的位置固定有第一凸出圈(21),所述釜体(1)的外壁靠近所述釜盖(2)的位置固定有第二凸出圈(11),同时所述环形卡箍(4)上开设有第一环形卡槽(41),所述第一凸出圈(21)和所述第二凸出圈(11)对接,并均卡接在所述第一环形卡槽(41)内;
所述釜盖(2)的外壁固定有第三凸出圈(22),且所述第三凸出圈(22)与所述第一凸出圈(21)间隔分布,所述釜体(1)的外壁固定有第四凸出圈(12),且所述第四凸出圈(12)与所述第二凸出圈(11)间隔分布,同时所述环形卡箍(4)上分别开设有卡接所述第三凸出圈(22)的第二环形卡槽(42),以及开设有卡接所述第四凸出圈(12)的第三环形卡槽(43),且所述第二环形卡槽(42)、所述第三环形卡槽(43)和所述第一环形卡槽(41)沿所述环形卡箍(4)的轴向间隔分布,同时所述第二环形卡槽(42)和所述第三环形卡槽(43)分居在所述第一环形卡槽(41)的两端。
4.根据权利要求3所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,所述第三凸出圈(22)、所述第四凸出圈(12)、所述第二环形卡槽(42)和所述第三环形卡槽(43)均为多个,且多个所述第三凸出圈(22)一一对应卡接在多个所述第二环形卡槽(42)内,多个所述第四凸出圈(12)一一对应卡接在多个所述第三环形卡槽(43)内。
5.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,所述环形密封件(3)的横截面为T形、楔形或o型,且所述环形密封件(3)分别固定在所述釜盖(2)和所述反应腔(10)的内壁,同时所述环形密封件(3)密封所述釜盖(2)与所述釜体(1)顶端之间的连接缝隙。
6.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,还包括:底座(6),所述底座(6)上开设有定位槽(60),所述定位槽(60)的槽壁上表面为环形水平定位平面(601),所述釜体(1)靠近其底端的外径小于所述釜体(1)靠近其顶端的外径,且所述釜体(1)的小外径段与所述釜体(1)的大外径段之间形成有环形水平台阶面(101),所述釜体(1)的小外径段插接在所述定位槽(60)内,并且所述釜体(1)的小外径段的外壁抵接所述定位槽(60)的内壁,同时所述环形水平台阶面(101)搭接在所述环形水平定位平面(601)上。
7.根据权利要求6所述的一种大容积人造石英晶体高压釜,其特征在于,所述定位槽(60)的槽底为水平面,且所述釜体(1)的底端为水平面,同时所述布里奇曼自紧式密封结构(5)的底面与所述釜体(1)的底端水平面平齐,所述釜体(1)的底端水平面和所述布里奇曼自紧式密封结构(5)的底面均抵接在所述定位槽(60)的槽底。
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