[发明专利]一种晶体生长炉的观察窗装置

说明书

本说明书实施例提供一种晶体生长炉的观察窗装置，该观察窗装置包括观察窗和框体，其中，观察窗设置于框体上；框体设置于晶体生长炉的侧壁并与晶体生长炉连通，其中，框体的外侧设置至少一个进气口，框体的内侧设置至少两个出气口，至少两个出气口形成的至少两个气流方向间形成预设夹角，以使经由至少两个气流方向形成的至少两股气体在观察窗附近交汇形成气体屏障。

技术领域

本说明书涉及晶体制备技术领域，特别涉及一种晶体生长炉的观察窗装置。

背景技术

在晶体制备过程中，一般会在晶体生长炉的腔体侧面设置观察窗，便于操作人员实时监测炉内情况并执行相应的操作，以提高晶体生长质量。在晶体制备过程中，部分熔融原料可能会挥发粘附在观察窗内侧，从而影响观察窗的观察效果。因此，需要提供一种晶体生长炉的观察窗装置，便于清晰观察炉内的生长情况。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种晶体生长炉的观察窗装置，所述观察窗装置包括观察窗和框体，其中，观察窗设置于所述框体上；所述框体设置于所述晶体生长炉的侧壁并与所述晶体生长炉连通，其中，所述框体的外侧设置至少一个进气口，所述框体的内侧设置至少两个出气口，所述至少两个出气口形成的至少两个气流方向间形成预设夹角，以使经由所述至少两个气流方向形成的至少两股气体在所述观察窗附近交汇形成气体屏障。

在一些实施例中，所述至少两个出气口为长条形出气口。

在一些实施例中，所述至少两个出气口至少包括两个相对设置于所述观察窗两侧的出气口。

在一些实施例中，所述观察窗装置还包括至少两个风向调节板，所述至少两个风向调节板分别设置于所述至少两个出气口的外侧。

在一些实施例中，所述风向调节板包括两块子板且所述两块子板间的夹角可调节。

在一些实施例中，所述观察窗装置还包括至少两个挡板，所述至少两个挡板分别设置于所述至少两个出气口的外侧。

在一些实施例中，所述挡板为弯曲弧形。

在一些实施例中，所述观察窗装置还包括粉体收集框，所述粉体收集框设置于所述挡板的下方。

在一些实施例中，所述粉体收集框的内部设置至少两个相互交错的斜板。

在一些实施例中，所述框体的外侧设置进水口和出水口，经由所述进水口和所述出水口形成流经所述观察窗装置的冷却通道。

附图说明

本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本说明书一些实施例所示的包括观察窗装置的晶体生长炉的结构示意图；

图2是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置外侧的结构示意图；

图3是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置内侧的结构示意图；

图4是根据本说明书一些实施例所示的风向调节板的结构示意图；

图5是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置的俯视图；

图6是根据本说明书一些实施例所示的观察窗装置阻挡挥发物的示意图；

图7是根据本说明书一些实施例所示的粉体收集框的结构示意图。

图中，10为晶体生长炉，11为炉膛壁，100为观察窗装置，110为观察窗，120为框体，130为进气口，140为进水口，150为出水口，160为出气口，170为风向调节板，171为子板，172为子板，180为挡板，190为粉体收集框，191为斜板，192为斜板，193为斜板，194为斜板，195为斜板。

具体实施方式