[发明专利]一种晶体生长炉的观察窗装置有效
申请号: | 202110942349.7 | 申请日: | 2021-08-17 |
公开(公告)号: | CN113564721B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 王宇;顾鹏;李敏;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 李兴洲 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 观察窗 装置 | ||
1.一种晶体生长炉的观察窗装置,其特征在于,所述观察窗装置包括观察窗、框体、至少两个挡板和粉体收集框,其中,
所述观察窗设置于所述框体上;
所述框体设置于所述晶体生长炉的侧壁并与所述晶体生长炉连通,其中,
所述框体的外侧设置至少一个进气口,
所述框体的内侧设置至少两个出气口,
所述至少两个出气口形成的至少两个气流方向间形成预设夹角,以使经由所述至少两个气流方向形成的至少两股气体在所述观察窗附近交汇形成气体屏障;
所述至少两个挡板分别设置于所述至少两个出气口的外侧;
所述粉体收集框设置于所述挡板的下方。
2.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述至少两个出气口为长条形出气口。
3.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述至少两个出气口至少包括两个相对设置于所述观察窗两侧的出气口。
4.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述观察窗装置还包括:
至少两个风向调节板,所述至少两个风向调节板分别设置于所述至少两个出气口的外侧。
5.如权利要求4所述的观察窗装置,其特征在于,所述风向调节板包括两块子板且所述两块子板间的夹角可调节。
6.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述挡板为弯曲弧形。
7.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述粉体收集框的内部设置至少两个相互交错的斜板。
8.如权利要求1所述的观察窗装置,其特征在于,所述框体的外侧设置进水口和出水口,经由所述进水口和所述出水口形成流经所述观察窗装置的冷却通道。
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