[发明专利]影像处理方法、非暂态计算机可读取媒体及影像处理系统

权利要求书

1.一种影像处理方法，其特征在于，包含：

取得一晶圆的一缺陷影像；

处理该缺陷影像，并产生一重建影像；以及

当该重建影像包含至少一个物件图案时，输出该重建影像，

其中该至少一个物件图案对应于该晶圆的一部分。

2.根据权利要求1所述的影像处理方法，其特征在于，还包含：

利用多个参考影像，训练一影像处理程序，

其中经训练的该影像处理程序用以处理不具有该至少一个物件图案的该缺陷影像，以产生并输出该重建影像，

其中该些参考影像对应于该晶圆的多个部分，且该些参考影像包含：

多个第一参考影像，其中该些第一参考影像与该重建影像关联于在一第一条件下拍摄的该晶圆；以及

多个第二参考影像，其中该些第二参考影像与该缺陷影像关联于在相异于该第一条件的一第二条件下拍摄的该晶圆。

3.根据权利要求1所述的影像处理方法，其特征在于，还包含：

利用多个参考影像，训练一影像生成模型，

其中该些参考影像对应于该晶圆的多个部分，且

经训练的该影像生成模型用以转换该缺陷影像成该重建影像。

4.根据权利要求1所述的影像处理方法，其特征在于，还包含：

通过多个电子设备拍摄该晶圆，以取得该晶圆的多个参考影像；以及

利用该些参考影像，训练一影像鉴别模型，

其中经训练的该影像鉴别模型用以比较该重建影像以及该些参考影像，以判断该重建影像是否包含该至少一个物件图案，以及判断该至少一个物件图案是否关联于在一条件下拍摄的该晶圆。

5.一种非暂态计算机可读取媒体，包含用于通过一处理器实现一影像处理方法的可执行指令，其特征在于，该影像处理方法包含：

撷取一缺陷影像，其中该缺陷影像包含对应于一晶圆的一瑕疵图案；以及

根据该缺陷影像以及多个第一参考影像，产生一重建影像，其中该重建影像包含对应于该晶圆的至少一个物件图案，且该些第一参考影像包含对应于该晶圆的多个图案，

其中该至少一个物件图案与该瑕疵图案对应于该晶圆的相同部分，且该至少一个物件图案不同于该瑕疵图案。

6.根据权利要求5所述的非暂态计算机可读取媒体，其特征在于，其中该影像处理方法还包含：

利用该些第一参考影像以及对应该些第一参考影像的多个第二参考影像，训练一影像生成模型，

其中经训练的该影像生成模型用以转换该缺陷影像成该重建影像，

其中训练该影像生成模型的操作包含：

根据该些第一参考影像以及该些第二参考影像，产生多个训练重建影像；

接收多个权重值，其中该些权重值表示为该些训练重建影像与该些第一参考影像的多个比较结果；以及

根据该些权重值，更新该影像生成模型。

7.根据权利要求5所述的非暂态计算机可读取媒体，其特征在于，其中该影像处理方法还包含：

利用该些第一参考影像以及对应该些第一参考影像的多个第二参考影像，训练一影像鉴别模型，

其中经训练的影像鉴别模型用以产生至少一个权重值至一影像生成模型，以判断由该影像生成模型输出的至少一个影像是否相似于该些第一参考影像，

其中训练该影像鉴别模型的操作包含：

比较该些第一参考影像以及该些第二参考影像，以鉴别该些第一参考影像为关联于在一条件下拍摄的该晶圆。

8.根据权利要求5所述的非暂态计算机可读取媒体，其特征在于，其中该影像处理方法还包含：

取得由一电子设备拍摄该晶圆的多个输入影像，其中该些输入影像包含该缺陷影像；

根据该些输入影像的多个属性，分类该些输入影像为多个影像群；以及

在该些影像群的每一者中，根据该些输入影像中的多个特征，选择对应该些特征中的多个影像生成模型及多个影像鉴别模型，分别处理该些输入影像以产生多个输出影像，其中该些输出影像包含该重建影像。