[发明专利]一种双片陶瓷温压芯体及其制备方法在审
申请号: | 202110920747.9 | 申请日: | 2021-08-11 |
公开(公告)号: | CN113483828A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 秦迪 | 申请(专利权)人: | 深圳聚德寿科技有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01D11/00 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 崔自京 |
地址: | 518051 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 温压芯体 及其 制备 方法 | ||
1.一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,包括基座、弹性膜片、电极、屏蔽电极和玻璃感压面;所述屏蔽电极设置在所述电极四周,所述电极和所述屏蔽电极设置在所述基座和所述弹性膜片形成的密闭空间内,所述玻璃感压面印刷在所述基座上;
其中,所述芯体为圆饼状,且一侧设置有扇环缺口。
2.根据权利要求1所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述芯体的直径为18mm,所述扇环的开口角度为40度,所述扇环的半径为1.5mm。
3.根据权利要求1所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述电极分为测量电极和源电极,所述屏蔽电极分为第一屏蔽电极和第二屏蔽电极。
4.根据权利要求3所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述测量电极和所述源电极分别印刷在所述基座和所述弹性膜片上,相对放置,其中,所述测量电极印刷在所述基座印刷所述玻璃感压面的另一面上。
5.根据权利要求3所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述第一屏蔽电极设置在所述测量电极的四周,印刷在所述基座上;所述第二屏蔽电极设置在所述源电极的四周,印刷在所述弹性膜片上;所述第一屏蔽电极和所述第二屏蔽电极上下连通。
6.根据权利要求3所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述电极和所述屏蔽电极的大小为:
1)所述源电极的直径所述第一屏蔽电极的内直径所述测量电极的直径;
2)所述第二屏蔽电极的外直径所述第一屏蔽电极的外直径所述第二屏蔽电极的内直径;
3)所述第一屏蔽电极的外直径所述第二屏蔽电极的内直径所述源电极的直径;
4)所述玻璃感压面的内径=所述第二屏蔽电极的外直径所述第一屏蔽电极的外直径。
7.根据权利要求1所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述电极和所述玻璃感压面为偏心圆设置。
8.根据权利要求1所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述玻璃感压面的内部设置有空白区域。
9.根据权利要求1所述的一种双片陶瓷温压芯体,其特征在于,所述基座上设置有3个pin针结构。
10.一种双片陶瓷温压芯体的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
(1)将弹性膜片与基座清洗后烘干水分,备用;
(2)在所述基座表面印刷测量电极和第一屏蔽电极,在弹性膜片表面印刷源电极和第二屏蔽电极后,高温烧结;
(3)在步骤(2)得到所述基座上印刷玻璃感压面后,预烧结;
(4)将步骤(2)得到所述弹性膜片和步骤(3)得到的所述基座清洗烘干后,将所述源电极和所述测量电极面相对防置后进行高温烧结芯体;
(5)在所述芯体安装pin针结构后高温固化,即得一种双片陶瓷温压芯体。
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