[发明专利]一种可更换探针组及探针卡

说明书

本发明公开一种可更换探针组及探针卡，包括：多组铜排、针套和探针，每组铜排上安装针套，针套上连接探针，多组铜排的布局根据被测器件自适应调整。可更换探针组可以根据被测功率芯片pad布局进行自适应调整，并且通过将探针组可拆卸连接在探针卡上，在测试不同pad布局的被测功率芯片时，可以避免更换探针卡，降低定制动态测试探针卡的时间和经济成本。

技术领域

本发明涉及功率器件封装测试技术领域，具体涉及一种可更换探针组及探针卡，尤其涉及一种适用于半导体器件晶圆动态参数测试探针卡的可更换探针组。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本发明相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。

因为功率芯片测试的电流一般较大，而单根探针只能承受有限电流，所以需要多根探针同时插入至功率芯片的pad上。传统探针卡是一种包含探针组的PCB，用于汇聚不同探针的电流。一种探针卡只能用于测试一款功率芯片，不同的功率芯片pad布局不相同，因此在测试多种功率芯片时，需要定制测试探针卡，时间和经济成本较高。对于适用于半导体器件晶圆动态参数测试的探针卡，因为其相较于传统探针卡而言结构更复杂，所以其定制和更换的成本将更高。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出了一种可更换探针组及探针卡，可更换探针组可以根据被测功率芯片pad布局进行自适应调整，并且通过将探针组可拆卸连接在探针卡上，在测试不同pad布局的被测功率芯片时，可以避免更换探针卡，降低定制动态测试探针卡的时间和经济成本。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

第一方面，本发明提供一种可更换探针组，包括：多组铜排、针套和探针，每组铜排上安装针套，针套上连接探针，多组铜排的布局根据被测器件自适应调整。

作为可选择的实施方式，可更换探针组还包括排针，每组铜排设有排针安装孔，排针安装孔用于连接排针。

作为可选择的实施方式，多组铜排设为不同布局的两层或多层，排针与不同层的铜排连接。

作为可选择的实施方式，所述针套、铜排和排针均封装在外壳内。

作为可选择的实施方式，所述探针的一端设于针套内，另一端设于被测器件上。

作为可选择的实施方式，所述探针的数量根据被测器件自适应调整。

作为可选择的实施方式，所述铜排设为四组，分别引出探针的四个测试信号。

作为可选择的实施方式，所述针套一侧设有与探针适配的插孔，所述插孔深度小于针套长度。

第二方面，本发明提供一种探针卡，包括第一方面所述的可更换探针组。

第三方面，本发明提供一种半导体器件晶圆动态参数测试系统，包括第二方面所述的探针卡。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

减少定制针卡的时间和经济成本，本发明提供了一种适用于动态参数测试探针卡的可更换式探针组。

传统探针卡一般无法直接更换探针组，所以在测试不同芯片时，需要将探针卡整体更换，并重新调整位置，操作繁琐。为了解决该问题，本发明提出适用于动态参数测试探针卡的可更换探针组，在传统探针卡的基础上，将探针组部分从探针卡中分离出来，并可根据功率芯片pad的不同布局设计不同的探针组，独立封装的探针组可以直接插接在探针卡上，操作简单。

本发明的可更换探针组可以根据被测功率芯片pad布局进行自适应调整，实现一种探针组对应一种被测功率芯片，通过将探针组可拆卸连接在探针卡上，在测试不同pad布局的被测功率芯片时，可以避免更换探针卡，降低定制动态测试探针卡的时间和经济成本。