[发明专利]一种可更换探针组及探针卡

权利要求书

1.一种可更换探针组，其特征在于，包括：多组铜排、针套和探针，每组铜排上安装针套，针套上连接探针，多组铜排的布局根据被测器件自适应调整；

可更换探针组还包括排针，每组铜排设有排针安装孔，排针安装孔用于连接排针；多组铜排设为不同布局的两层或多层，排针与不同层的铜排连接；

所述探针分为四组，用于引出SF、SS、G、GL四个测试信号；

所述铜排与所述针套焊接固定，第一区域引出G信号，第二区域引出SS信号，第三区域引出GL信号，第四区域引出SF信号；

所述第一区域通过针套、探针与功率芯片栅极相连，针数为1-2根；

所述第二区域通过针套、探针与功率芯片源极相连，针数为1-2根；

所述第三区域通过针套、探针与功率芯片源极相连，针数为1-2根；

所述第四区域通过针套、探针与功率芯片源极相连，针数根据功率芯片额定电流大小设置为10~20根。

2.如权利要求1所述的一种可更换探针组，其特征在于，所述针套、铜排和排针均封装在外壳内。

3.如权利要求1所述的一种可更换探针组，其特征在于，所述探针的一端设于针套内，另一端设于被测器件上。

4.如权利要求1所述的一种可更换探针组，其特征在于，所述探针的数量根据被测器件自适应调整。

5.如权利要求1所述的一种可更换探针组，其特征在于，所述铜排设为四组，分别引出探针的四个测试信号。

6.如权利要求1所述的一种可更换探针组，其特征在于，所述针套一侧设有与探针适配的插孔，所述插孔深度小于针套长度。

7.一种探针卡，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的可更换探针组。

8.一种半导体器件晶圆动态参数测试系统，其特征在于，包括权利要求7所述的探针卡。