[发明专利]一种超薄材料蚀刻装置

说明书

本发明公开了一种超薄材料蚀刻装置，包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻。本发明通过喷淋机构进行喷淋，蚀刻完一面再蚀刻另一面，无残留蚀刻液存留，提高了蚀刻精度；本发明通过料卷传送机构可以使得蚀刻材料能够具有承托的进入至第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内进行蚀刻，不会出现起皱现象，蚀刻均匀；此外，本发明提供的蚀刻装置无需夹板夹持，不会导致待蚀刻材料的张力不均匀，因此蚀刻均匀。

技术领域

本发明涉及蚀刻技术领域，特别涉及一种超薄材料蚀刻装置。

背景技术

常见的蚀刻机有化学蚀刻和电解蚀刻，在化学蚀刻中采用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的。蚀刻机广泛地应用于航天、机械、标牌等工业中，对超薄电路板、微孔金属卷材、精密屏蔽材料等进行蚀刻处理。

现有的蚀刻机在对超薄材料进行蚀刻时，通过多个滚轮将待蚀刻材料水平传送至蚀刻槽内，蚀刻液浸过待蚀刻材料进行双面蚀刻（即两面同时进行蚀刻），当待蚀刻材料进入至蚀刻槽时，待蚀刻材料的两侧由夹板夹持着，以保持待蚀刻材料在蚀刻液中的平衡。

然而传统的蚀刻机至少存在以下问题：

1）由于蚀刻材料同时进行两面蚀刻，而蚀刻液具有一定的浮力，以及会产生波动，因而会导致材料蚀刻不均匀。

2）在滚轮传送待蚀刻材料的过程中，滚轮会对待蚀刻材料产生拉应力，由于待蚀刻材料特别薄，待蚀刻材料的后方容易出现张力不均匀现象，从而出现后方起皱的现象，甚至在前方就出现起皱的现象，进而导致蚀刻不均匀。

3）由于待蚀刻材料的两侧分别由多个并排设置的夹板夹持，而夹板的夹持力并不均匀，会导致待蚀刻材料的张力不均匀，从而导致蚀刻不均匀。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明公开了一种超薄材料蚀刻装置。

为实现上述目的，本发明通过以下技术方案实现：

本发明公开了一种超薄材料蚀刻装置，包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻，所述第一喷淋机构和第二喷淋机构分别位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内，所述第一喷淋机构用以向待蚀刻材料正面喷淋蚀刻液，所述第二喷淋机构用以向待蚀刻材料背面喷淋蚀刻液。

优选的，所述料卷传送机构包括料卷释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮，所述第一载体轮和第二载体轮分别水平设置于所述所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽中，且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致，所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动；

所述料卷释放轮用以释放待蚀刻材料至所述第一蚀刻槽内；

所述第一载体轮用以使得待蚀刻材料的反面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；

所述第二载体轮用以使得待蚀刻材料的正面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；

进一步优选的，所述正反面转换组件用以使得从所述第一蚀刻槽出来的蚀刻材料正反面对置后而进入至所述第二蚀刻槽内进行另一面的蚀刻。

优选的，所述料卷传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮；

所述第一过渡轮和第二过渡轮分别水平设置所述第一蚀刻槽的上方，并且位于所述第一载体轮的上部两侧，所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第一蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第一蚀刻槽；