[发明专利]一种超薄材料蚀刻装置

权利要求书

1.一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻，所述第一喷淋机构和第二喷淋机构分别位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内，所述第一喷淋机构用以向待蚀刻材料正面喷淋蚀刻液，所述第二喷淋机构用以向待蚀刻材料背面喷淋蚀刻液。

2.根据权利要求1所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述料卷传送机构包括料卷释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮，所述第一载体轮和第二载体轮分别水平设置于所述所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽中，且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致，所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动；

所述料卷释放轮用以释放待蚀刻材料至所述第一蚀刻槽内；

所述第一载体轮用以使得待蚀刻材料的反面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；

所述第二载体轮用以使得待蚀刻材料的正面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；

所述正反面转换组件用以使得从所述第一蚀刻槽出来的蚀刻材料正反面对置后而进入至所述第二蚀刻槽内进行另一面的蚀刻。

3.根据权利要求2所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述料卷传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮；

所述第一过渡轮和第二过渡轮分别水平设置所述第一蚀刻槽的上方，并且位于所述第一载体轮的上部两侧，所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第一蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第一蚀刻槽；

所述第三过渡轮和第四过渡轮分别设置所述第二蚀刻槽的上方，并且位于所述第二载体轮的上部两侧，所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第二蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第二蚀刻槽。

4.根据权利要求2所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述正反面转换组件包括位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽之间的固定架和设置于所述固定架上的第一转换轮，所述第一转换轮所在高度高于所述第一载体轮和第二载体轮所在高度，所述第一转换轮用以支承从所述第一蚀刻槽的末端移出后反向折回的蚀刻材料。

5.根据权利要求4所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述正反面转换组件还包括水平固设于所述固定架上第二转换轮和第三转换轮，所述第二转换轮和第三转换轮位于所述第一转换轮的两侧，且低于所述第一转换轮。

6.根据权利要求2所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述第一喷淋机构包括多根第一喷淋管，所述的多根第一喷淋管靠近并环绕所述第一载体轮的轮周的下半部分设置；所述第二喷淋机构包括多根第二喷淋管，所述的多根第二喷淋管靠近并环绕所述第二载体轮的轮周的下半部分设置。

7.根据权利要求6所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述第一喷淋管上设置多个喷淋嘴，所述第一喷淋管的一端与所述第一蚀刻槽的槽壁固定连接，所述第一喷淋管的另一端连通高压液体；

所述第二喷淋管上设置多个喷淋嘴，所述第二喷淋管的一端与所述第二蚀刻槽的槽壁固定连接，所述第二喷淋管的另一端连通高压液体。

8.根据权利要求7所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述第一喷淋管和第二喷淋管的另一端分别经管道连接高压水泵。

9.根据权利要求1所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽的底端部分别设置有一出液口，所述出液口在蚀刻过程中始终与外界连通。

10.根据权利要求9所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述第一蚀刻槽的最低处开设所述出液口，所述出液口的下方连通截面为三角形的出液通道，所述出液通道的底部设置有多个出液孔，所述出液孔经管道连通蚀刻液收集容器。