[发明专利]固晶机及固晶机摆臂有效
申请号: | 202110914507.8 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN113725122B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 胡新荣;黄岗 | 申请(专利权)人: | 中山市新益昌自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 张良 |
地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机 固晶机摆臂 | ||
本申请提供了一种固晶机及固晶机摆臂,包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在安装座上的摆臂本体,固晶机摆臂还包括电控施力装置,电控施力装置用于对摆臂本体施力以使摆臂本体的第一端沿第一方向运动。相比于传统的固晶机摆臂,本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体上的作用力,使调节摆臂本体对固晶晶片压力的操作更加简单,控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时,还可控制电控施力装置增大对摆臂本体的作用力,提高摆臂本体与安装座的连接刚性,减小固晶机摆臂的振动,避免固晶晶片掉落,从而提高固晶机摆臂的工作稳定性。由于该固晶机具有本申请的固晶机摆臂,因此,也具有本申请的固晶机摆臂的优点。
技术领域
本申请属于固晶设备技术领域,更具体地说,是涉及固晶机及固晶机摆臂。
背景技术
固晶机是晶片生产的重要设备,传统固晶机是由顶针组件将蓝膜上的芯片顶出后,再由固晶机摆臂的吸嘴将晶片吸取并移送至固晶位进行固晶。然而,现有的固晶机摆臂是通过人工调节固晶机摆臂上的压力弹簧来调节固晶机摆臂吸取固晶时对晶片的压力。摆臂对晶片的压力不能自动切换,需要停机后进行人工调节,因此,十分影响固晶机的工作效率。
由于固晶机摆臂工作时,需做高频高加速的往复摆动,对固晶机及固晶机摆臂的刚性要求较高。现有的固晶机摆臂,由于压力弹簧对固晶机摆臂的压力有限,使固晶机摆臂在工作时容易产生振动或摆动,直接影响整机的晶片生产精度和质量。
发明内容
本申请实施例的目的在于提供一种固晶机及固晶机摆臂,以解决现有技术中存在的固晶机摆臂压力调节困难、稳定性差的技术问题。
为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种固晶机摆臂,包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在所述安装座上的摆臂本体,还包括电控施力装置,所述电控施力装置用于对所述摆臂本体施力以使所述摆臂本体的第一端沿第一方向运动。
作为上述技术方案的进一步改进:
可选的,所述电控施力装置对应所述摆臂本体的第二端布置,所述弹性连接结构位于所述摆臂本体的第一端和第二端之间,所述电控施力装置用于对所述摆臂本体施力以使所述摆臂本体的第二端沿与第一方向相反的第二方向运动。
可选的,所述电控施力装置包括电磁铁。
可选的,所述电磁铁位于所述摆臂本体的上方。
可选的,所述摆臂本体上还设有与所述电磁铁对应的磁性件。
可选的,所述弹性连接结构包括弹性片,所述弹性片一端连接于所述安装座,另一端连接于所述摆臂本体。
可选的,所述摆臂本体的第一端用于安装固晶吸嘴,所述摆臂本体的第二端插装于所述安装座内。
可选的,所述固晶机摆臂还包括旋钮装置,所述旋钮装置包括连接在所述摆臂本体第二端的连杆、转动连接在所述连杆上的旋钮、设置在所述旋钮与所述安装座之间的弹性件。
可选的,所述安装座正对所述摆臂本体一侧的端面与所述摆臂本体对应的端面互呈夹角。
一种固晶机,包括固晶机本体和上述的固晶机摆臂。
本申请提供的固晶机及固晶机摆臂的有益效果在于:本申请提供的固晶机及固晶机摆臂,通过控制电控施力装置的电信号,控制电控施力装置施加于摆臂本体上的作用力,使摆臂本体增大或减小对固晶晶片的压力。第一方向即摆臂本体对固晶晶片压力的方向。相比于传统的固晶机摆臂,本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体上的作用力,使调节摆臂本体对固晶晶片压力的操作更加简单,控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时,还可控制电控施力装置增大对摆臂本体的作用力,提高摆臂本体与安装座的连接刚性,减小固晶机摆臂的振动,避免固晶晶片掉落,从而提高固晶机摆臂的工作稳定性。由于该固晶机具有本申请的固晶机摆臂,因此,也具有本申请的固晶机摆臂的优点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造