[发明专利]固晶机及固晶机摆臂有效
申请号: | 202110914507.8 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN113725122B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 胡新荣;黄岗 | 申请(专利权)人: | 中山市新益昌自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 张良 |
地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机 固晶机摆臂 | ||
1.一种固晶机摆臂,包括用于连接固晶机本体的安装座(1)、通过弹性连接结构(2)可活动地连接在所述安装座(1)上的摆臂本体(3),其特征在于,还包括电控施力装置(4),所述电控施力装置(4)用于对所述摆臂本体(3)施力以使所述摆臂本体(3)的第一端沿第一方向运动;
所述电控施力装置(4)对应所述摆臂本体(3)的第二端布置,所述弹性连接结构(2)位于所述摆臂本体(3)的第一端和第二端之间,所述电控施力装置(4)用于对所述摆臂本体(3)施力以使所述摆臂本体(3)的第二端沿与第一方向相反的第二方向运动;
所述电控施力装置(4)包括电磁铁,所述电磁铁位于所述摆臂本体(3)的上方;
所述摆臂本体(3)上还设有与所述电磁铁对应的磁性件(5),通过所述磁性件(5)与电磁铁的磁吸效应,将所述电磁铁产生的磁吸力传递到所述摆臂本体(3)的第二端。
2.如权利要求1所述的固晶机摆臂,其特征在于,所述弹性连接结构(2)包括弹性片(21),所述弹性片(21)一端连接于所述安装座(1),另一端连接于所述摆臂本体(3)。
3.如权利要求1所述的固晶机摆臂,其特征在于,所述摆臂本体(3)的第二端插装于所述安装座(1)内。
4.如权利要求1所述的固晶机摆臂,其特征在于,所述固晶机摆臂还包括旋钮装置(6),所述旋钮装置(6)包括连接在所述摆臂本体(3)第二端的连杆(61)、转动连接在所述连杆(61)上的旋钮(62)、设置在所述旋钮(62)与所述安装座(1)之间的弹性件(63)。
5.如权利要求1所述的固晶机摆臂,其特征在于,所述安装座(1)正对所述摆臂本体(3)一侧的端面与所述摆臂本体(3)对应的端面互呈夹角。
6.一种固晶机,其特征在于,包括固晶机本体和如权利要求1至5中任一项所述的固晶机摆臂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造