[发明专利]一种超大尺寸网板曝光系统在审
| 申请号: | 202110911827.8 | 申请日: | 2021-08-10 |
| 公开(公告)号: | CN113671802A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
| 发明(设计)人: | 丁宁 | 申请(专利权)人: | 丁宁 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 超大 尺寸 曝光 系统 | ||
1.一种超大尺寸网板曝光系统,包括两个对称设置的固定板(1),其特征在于,两个所述固定板(1)的相对侧壁之间固定连接有两个对称设置的横板(2),两个所述横板(2)与两个固定板(1)之间设有网板本体(22),两个横板(2)与两个固定板(1)之间设有用于对网板本体(22)进行放置的放置机构,所述网板本体(22)的上方设有曝光头(16),两个所述固定板(1)的上端面均开设有通槽(10),所述通槽(10)内设有连接板(13),两个所述连接板(13)之间位于固定板(1)的上方设有用于对曝光头(16)进行固定的固定机构,所述固定板(1)内开设有第一腔室(21),所述第一腔室(21)内设有用于对固定机构进行移动的移动机构,两个所述固定板(1)的一侧内均开设有第二腔室(5),左侧所述横板(2)内开设有第三腔室(9),两个所述第二腔室(5)与第三腔室(9)之间设有用于对移动机构进行驱动的驱动机构,两个所述固定板(1)的下端面均固定连接有两个对称设置的支撑脚(17)。
2.根据权利要求1所述的一种超大尺寸网板曝光系统,其特征在于,所述放置机构包括固定连接在两个横板(2)相对侧壁上多个呈等间距设置的横杆(19),两个所述固定板(1)位于两个横板(2)之间的相对侧壁上固定连接有两个对称设置的竖杆(20),两个所述竖杆(20)均贯穿多个横杆(19),所述网板本体(22)设置在多个所述横杆(19)与两个竖杆(20)的上端面。
3.根据权利要求2所述的一种超大尺寸网板曝光系统,其特征在于,所述固定机构包括固定连接在两个连接板(13)位于固定板(1)上方侧壁之间的横梁(14),所述横梁(14)上设有固定座(15),所述曝光头(16)的一端固定连接在固定座(15)的侧壁上,所述横梁(14)的材质为6063铝合金,所述横梁(14)内部为中空加强设计且经过T6热处理。
4.根据权利要求3所述的一种超大尺寸网板曝光系统,其特征在于,所述移动机构包括一端固定连接在第一腔室(21)侧壁上的往复丝杠(11),所述往复丝杠(11)的另一端贯穿转动第一腔室(21)的另一端并固定连接有第一锥齿轮(7),所述往复丝杠(11)的侧壁上设有与其侧壁相配合的丝杠套(12),所述第一腔室(21)内固定连接有限位杆(18),所述限位杆(18)贯穿丝杠套(12)并与其滑动连接,所述连接板(13)位于固定板(1)内的一端固定连接在丝杠套(12)的上端面。
5.根据权利要求4所述的一种超大尺寸网板曝光系统,其特征在于,所述驱动机构包括固定连接在其中一个固定板(1)侧壁上的托板(3),所述托板(3)的上端面固定连接有动力电机(4),所述动力电机(4)的输出轴末端固定连接有转动杆(6),所述转动杆(6)远离动力电机(4)的一端贯穿转动其中一个固定板(1)内的第二腔室(5)与第三腔室(9)并延伸至另一个第二腔室(5)内,所述转动杆(6)位于两个第二腔室(5)内的侧壁上均固定连接有第二锥齿轮(8),同侧所述第一锥齿轮(7)与第二锥齿轮(8)之间均为啮合状态。
6.根据权利要求5所述的一种超大尺寸网板曝光系统,其特征在于,两个所述固定板(1)与横板(2)的材质为Q345是低合金结构钢,所述固定板(1)与横板(2)的连接处均经过热处理。
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